공압식 구동기에는 공압 실린더와 공압 모터가 있는데 이들의 특징은 속도가 빠르지만 힘이 약하다는 점이다. ... 따라서 반출, 반입, 운반할 때의 먼지 부착을 방지한다. ② Photo 공정 Photo 리소그래피의 일련의 설비를 보유하고 있어 레지스트 도포∼프리베이크∼노광(스테퍼,얼라이너)∼현상 ... 운동형태로는 왕복형(선형운동)과 회전형(회전운동)으로 분류되고, 동력원에 따라서는 공압식, 유압식, 전기식 등으로 분류된다.
독자적 형체 Clamping System - SODICK 고유의 전동,유압, 공압 혼합방식에 의한 형체직압 및 Clamping Lock { 아래 LM guide 의 주 용도는 NC공작기계.평면 ... LSI제조 장치 하드 디스크 드라이브 OA기기의 슬라이드부 와이어커트 방전 가공기 UV축 웨이퍼반송 장치 프린트기판 조립 테이블 의료기기, 전자 현미경의 전자 기기 광학 stage, 스테퍼