이와 마찬가지로 소비자용 부품에서 MEMS가 차지하는 시장 범위가 현재는 작은 편이지만 급속도로 확대되고 있는 실정이다. ② 마이크로 머시닝을 통한 미소기계소자의 제작 방법에 관하여 ... 기계적 부품 분야 실리콘 마이크로머시닝을 이용하여 제도되는 순수 기계적 부품에 관한 시장은 아직 미소한 편이다. ... Bulk Micromachining 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micr 위에 구조층과 희생층을 증착한 후 최종적으로 희생층을 식각하는 공정을 통해 표면으로부터 떠 있는 (Floated
