"마랑고니 세정" 검색결과 1-1 / 1건

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  마랑고니 세정이란 무엇인가? 물과 IPA간의 표면장력 차이에 의해 발생하는 마랑고니 현상을 이용해 웨이퍼 표면을 건조시키는 방법이다. ... 마랑고니 힘에 의해 최상층의 IPA에 의해 웨이퍼 표면은 물반점이 없는 깨끗한 건조를 수행할 수 있게 된다. 10. ... RCA세정 방법을 들고 설명하시오. 세정방법에는 건식세정과 습식 세정의 방법이 있는데 RCA방법은 대표적인 습식세정 방법이다.

  리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.20

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