P-doped SnO2 박막을 제조하였다. ... 목 적: 본 연구는 SnO2를 모체로 하는 투명전도성 박막을 제조하기 위하여, 가용성 염인 Sn-Chloride와 H3PO4를 출발물질로 사용하였으며, 졸-겔법으로 박막을 제조하여 ... Method: P-doped SnO2 thin films were prepared by coating-pyrolysis process in the air at 2000 rpm for
태양전지의 앞면전극으로 사용될 SnO2박막을 spray pyrolysis 방법으로 증착하여 증착조건에 따른 박막 특성을 연구하였다. ... NH4F/Sn=2.3인 용액으로 400˚C에서 증착된 SnO2박막은 약 90%이상의 광투과도를 갖고 균일한 도핑으로 인해 약 4×10-4Ω .cm의 낮은 비저항 값을 나타내었다. ... 증착온도가 증가함에 따라 SnO2박막의 우선방위가 (200)면에서 면밀도가 더 높은 (211), (110)면으로 바뀌었고 막의 미세구조도 거칠고 각진 구조에서 평탄한 구조로 변하였다
In the case of mixed incorporation with Ag nanoparticles and MWNTs, the sheet resistance of SnO2 thin ... The crystallinity of the SnO2 thin films was not much affected by an incorporation of Ag nanoparticles ... Valence band spectral analyses of the nano-hybridized SnO2 thin films showed a relation between band
The WO3-doped SnO2 sensor can be used with the application of a H2 sensor for vehicles that utilize fuel ... The doping of WO3 to SnO2 increased the response (Ra/Rg, Ra: resistance in air, Rg: resistance in gas ... WO3-doped SnO2 thin films were prepared in a solution-deposition method and their gas-sensing characteristics
고주파 스피터 방법으로 제조된 SnO2감지막 위에 에어로졸 화염 증착법으로 알루미나 표면 보호층을 증착하여 SnO2박막 가스 센서의 감지 특성에 미치는 영향에 대햐여 조사하였고, 표면 ... SnO2박막은 R.F power 50 W, 공정 압력 4 mtorr, 기판온도 200˚C에서 30분간 0.3μm 두께로 Pt 전극 위에 제조하였고, 질산알루미늄(Al(NO3).9H2O ... 알루미나 표면 보호층이 증착된 SnO2가스 센서소자의 경우 보호층이 없는 가스 센서와 비교하여 CO 가스에 대한 감도는 매우 감소하였으나 CH4가스에 대한 감도 특성은 순수한 SnO2센서
마그네트론 스퍼터로 알루미나 기판위에 SnO2박막을 증착하여 증착온도, rf 전력, 공정기체 중 산소분율(O2/Ar)등 공정변수에 따른 박막의 미세구조와 가스검지 특성을 조사하였다. ... 증착된 박막의 미세구조는 결정성이 없는 비정질 구조(A), 비정질 기지 중에 결정이 분산된 구조(A=P), 방향성이 거의 없는 다결정 구조(P), 미세 기둥구조(FC), 조대한 기둥구조 ... 위의 미세구조를 가진 박막들을 센서로 제작하여 200˚C, 300˚C, 400˚C에서 CO 가스에 대한 민감도를 측정한 결과200˚C에서는 감도가 나타나지 않으며, 300˚C, 400
플라즈마 화학증착법을 이용하여 Corning glass 1737 기판에 안티몬 도핑 산화주석 박막을 증착하였다. ... 화학증착법(TCVD)에 비해 플라즈마 열화학증착법(PECVD)으로 얻은 박막의 표현형상이 보다 균일하였다. ... 플라즈만 화학증착시 반응변수에 따른 박막의 결정상 및 형성된 표면거칠기에 대하여 XRD와 AFM을 이용하여 검토하였다.
PSC using ALD SnO2 as ETL showed a maximum efficiency of 18.97 %, and PSC using spin coated SnO2 showed ... than that of the spin coated SnO2. ... This is because the short circuit current (Jsc) of PSC using the ALD SnO2 layer was 0.75 mA/cm2 higher
금속 산화물 반도체 중 하나인 SnO2 나노선을 VLS 방법으로 성장시킨다. 2. n-type SnO2의 산화성 가스 NO2에 대한 가스 센서특성을 측정한다. 3. ... 장점 - 간단한 구조 - 박막 두께 조절이 용이 - 박막의 높은 균일도 - 밀착강도가 높음 단점 - target이 금속에 한정 - 높은 Ar 압력 필요 - 기판이 가열될 수 있음. ... TeO2 나노선이 형성된 SnO2 나노선의 가스 센서특성을 측정하고 이전 실험값과 비교한다.
열전달및확산, 재료기계물성, 반도체재료, 고체물리, 고분자물성, 박막역학, 신소재종합설계1,2 등입니다. ... 기반 저전압 구동 센서 연구, NO2 표면에서의 ZnO-Branching 및 Au-Functionalization 촉진 효과 SnO2 나노와이어의 센싱 연구, SnO2 표면 환원의 ... 연구계획 저는 한양대학교 신소재공학부 연구실에 입학하여 n-SnO2-p-Cu2O 코어-쉘에서 CO 및 NO2 감지 향상 쉘 최적화에 의한 나노섬유 관련 연구, 전자빔 조사에 의한 Pd
In {} _{2}O {} _{3}, SnO {} _{2})로 된 막으로 주로 스파터링 방법으로 제조한다. - 고전도율이며 빛이 통할 때 가시광선영역에서 흡수와 반사가 잘 되지 않아 ... 도전성을 가지고 있으나, 이것에 산화주석(SnO {} _{2})을 수~10%첨가하여 더 욱 더 도전성을 높여 전기 전도성을 가진 투명도전막을 말한다. - 인듐과 산화주석의 화합물( ... 투과가 잘된다. (2) FTO(fluorine doped tin oxide) - 불소 도핑 된 주석 산화물 - 전자, 광학 및 박막 광전지에서 ITO 보다 안정적이고 내마모성이며
진공 증착 기법에 비해 박막의 순도가 높다. 2) Sputtering 기법의 단점 a. 증착 속도가 다소 느리다. b. ... 이홍철, “Reactive Magnetron Sputtering 법을 이용한p-type SnO 투명산화물반도체 합성 및 특성분석.” 석사학위, 경북대학교 대학원, 2016. ... 박막의 조성비 조절과 광학적 특성 조절에 용이하며, 광학 박막 제조에 주로 사용되는 기술이다. 참고문헌 강현영.
트랜지스터 연구, UV/Ozone Assisted Sol-Gel 접근법을 통한 유연한 SnO2 박막 트랜지스터의 향상 모드에 관한 연구, 졸-겔 처리된 이트륨 도핑된 SnO2 박막 ... 연소 합성을 통한 하부 접촉 SnO2 박막 트랜지스터의 쇼트키 배리어 변조 연구, 활성 신경 인터페이스를 위한 투명한 초박형 Al/Ag 이중층 소스 및 드레인이 있는 a-IGZO ... 박막 트랜지스터 개발 연구, 광열 효과 감지를 위한 높은 시간 해상도 투명 열전 온도 센서 개발 연구, H2 플라즈마 처리를 통한 수정된 플라즈마 지원 델타 도핑 프로세스를 통한 게르마늄의
산화인듐(In2O3)과 산화주석(SnO2)의 혼합물로 구성되어 있다. ... FTO는 불소(F) 원자가 도핑된 산화주석(SnO2)으로 구성된다. ... 또한, 실험을 통해 박막의 종류와 전기전도율, 비저항, 면저항의 이론을 이해하고 면저항과 비저항의 차이에 대해서 알아본다. 2. 실험이론 ?