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스퍼터링 기상반응법 sputtering dc/rf magnetron rf sputtering evaporator CVD 도금 스퍼터 반도체 공정
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"스퍼터링 증착" 검색결과 421-440 / 637건

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    화합물 반도체 태양전지
    을 얻을 수 있다. B을 도핑하기도 하는데, 근적외선 영역의 광투과도가 증가하여 단락전류를 증가시키는 효과가 있다. ZnO박막은 RF 스퍼터링방법으로 ZnO 타겟을 사용하여 증착 ... 하는 방법과, Zn 타겟을 이용한 반응성 스퍼터링, 그리고 유기금속화학증착법 등이 현재 사용되고 있다. 전기광학적 특성이 뛰어난 ITO 박막을 ZnO 박막 위에 증착한 2중구조를 채택 ... 의 두께를 혁신적으로 줄이는 기술, 또는 유리와 같이 값싼 기판위에 박막형태의 태양전지를 증착시키는 기술이 주목을 받고 있다. 기존의 박막 제조공정을 이용할 경우 보다 값싼 방법
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    | 리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.04.02
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    열 증착
    한 금속단자를 반도체 웨이퍼에 만들어주는 과정이 금속공정이다. 금속공정을 통해 단자를 형성하기 위한 방법에는 화학기상증착 또는 열증착 및 스퍼터링 등이 있다.▲Thermal ... ) 이온주입공정(4) 화학기상증착공정(5)사진식각공정(6) 금속공정반도체 공정이라는 것은 반도체를 이용한 소자를 만들기 위한 과정이다.이러한 일련의 공정을 통해서 웨이퍼에 불순물을 주입 ... evaporation, 그리고 이 둘을 조합하는 방법이 있다. Evaporation 방법은 오래된 film deposition 방법으로서 공정이 단순하고 증착 속도가 빠르며 장비의 가격이 저렴
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.16
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    금속재료실험 과제물
    이 생길 수 있다.(b) PVD와 CVD의 박막 증착 방법의 각각 세 가지 예를 들어라.PVD: 진공증착법, 스퍼터링, Ion PlantingCVD: 분무법, PECVD ... 재료실험2 결과 리포트#1박막 증착 결과 리포트1. (a) 물리적 박막 증착 방법(PVD, Physical Vapor Deposition)과 화학적 박막 증착 방법(CVD ... 에서 증착이 고르지 않게 되는 경우가 발생하며 입자가 고속으로 움직이다보니 기판에 손상이 발생되는 단점이 있다. CVD는 PVD에 비해 기판의 모양에 관계없이 균일한 증착이 가능하고 증착
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    | 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.02.12
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    박막 증착과 4-point probe 의 이해
    Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 (Thermal evaporation ... 증착은 특히 반도체산업에서 핵심적인 분야인데 그동안 이온 빔(ion-beam),전자 빔(electron-beam) 또는 RF(Radio-Frequency) 스퍼터링(s ... 1. 실험제목 : 면저항 측정기(4-point probe)의 이해2. 실험목적 : 웨이퍼위에 증착된 물질의 면저항을 측정한다.3. 실험이론PVD (Physical Vapor
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    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.07.09
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    전착공정을 이용한 Ni 나노선 제조 및 특성분석 (예비레포트)
    이 떨어지는 단점이 있다. 따라서 평탄하게 성장하지 못하여 품질이 다소 떨어지는 단점이 있다. 초기 시설 설비비가 높고 액의 관리가 힘들다는 단점을 가진다.5. 다른 증착법 (Physical Method) 의 종류 및 특징1) 스퍼터링 (Sputtering) ... )의 원리 와다른 증착방법(Physical method)들과 비교하였을 때의장단점은 무엇인가?1. 전착(electrodeposition) 이란?전기분해로서, 전해질 용액에서 석출 ... 된 이온이 음극의 물체 표면에 들러붙게 하여박막을 증착시키는 방법M+(금속의 이온) 이 e-(전자) 와 결합하여 결정격자를 이루며 전착되는 과정2. 전착의 원리전착도장은 전착도료
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    | 리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.12.23
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    [A+평가자료] 유기EL의 특징과 현재시장과 미래전망
    형, GH형, LCD 방식 발표?????DC 구동 PDP에 의한 TV 영상표시?????증착박막형 AC 구동 ELD 개발(ECD)(VFD)(PDP)(LCD)(PDP)(ELD ... 는 itor)를 사용하여 제어함으로써 수행하는 것이 바람직하다. 풀칼라 유기전계발광소자를 구현하기 위해서는 섀도우 마스크를 사용하여 적색, 녹색 및 청색의 발광층을 각각 진공증착 ... 은 산업 분야에서 박막 침착의 선택 방법으로서 스퍼터링법이 사용되어 왔다. 스퍼터링의 몇몇 이점 중에는 등각의(conformal) 조밀한 점착성 코팅, 단락 순환 시간, 코팅실의 낮
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    | 리포트 | 37페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.03.30 | 수정일 2017.04.06
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    박막증착
    기술은 크게 진공증착법과 스퍼터링법으로 나눌 수 있다.2.2.1 물리적 증착법물리적 증착에는 진공증착, 이온도금 및 sputtering이 있다. 첫째, 진공증착에서 기체는 저항발열체 ... 전자재료실험Ⅱ박막증착Ⅰ.서론1. 실험 목적 및 배경박막증착공정에서 물리적증착방법인 이온 sputtering 증착공정의 원리를 이해하고 이를 이용하여 증착박막의 특성을 분석한다.Ⅱ ... . 본론2. 실험 이론2.1 박막제조공정(Thin film process)의 개요Thin film process란 thin film deposition(증착
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    | 리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.06.27
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    도금
    )11(6) 침투 도금(확산도금)12(7) 화학 증착12(8) 음극 스퍼터링(Cathode Sputtering)12(9) 금속 용사(Thermal Spraying)14(10) 하지 ... 기술 4(3) 세계의 도금 기술43. 도금의 종류6(1) 전기도금6(2) 화학도금9(3) 이온도금9(4) 용융도금10(5) 진공 증착도금(Evaporation Deposition ... 도금15(11) 전착 코팅15(12) 물리 증착16(13) 기타 친환경도금164. 도금액20(1) 도금액의 종류20(2) 도금액 분석원리235. 도금 산업 동향296. 도금 기술
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    | 리포트 | 39페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.11.03
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    [공학]반도체소자공학의 모든것 총정리
    처럼 고전압전원에 연결된 반대편의 평행판 위에 놓여지게 된다. 증착이 되는 과정은 먼저 챔버를 진공으로 만든 다음 낮은 압력의 스퍼터링기체, 보통 Ar을 챔버 내로 흘려준다. 전극에 전압 ... 날아가게 된다. 금속증착에는 직류전원이 필요할 것이고, 절연체를 증착시키는 경우에는 교류전원이 필요할 것이다. 화합물을 스퍼터링할 때 박막의 화학양론을 맞추기 위하여 구성물질중 하나 ... Si표면의 방향성에 의해 결정된다.6. 박막증착에 대해 설명하시오.바깥으로 소자 구조를 연결시키기 위해서는 금속층의 증착과 패터닝이 요구된다. 사실 복잡한 IC는 전기적으로 고립
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    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.04.22
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    건식도금(pvd, cvd)
    스퍼터링의 장ㆍ단점장점단점a. 넓은 면적의 target을 사용할 경우 wafer 전 면적에 걸친 고른 박막의 증착이 가능.b. 박막의 두께 조절이 용이.c. 합금 물질의 조성 ... 으 열적 source재료로는 W(텅스텐), Mo(몰리브덴), Ta(탄탈) 등으로, 이 금속들의 박 또는 선을 적당한 형상으로 만들어 증발원으로 한 것으로, 증착재료를놓고 증발원 ... 에 전류를 흘려 가열하여 물질을 증발시키는 방법이다. 융점이 낮은재료의 증착에 유리하며 증착속도는 filament에 공급하는 전류량을 조절함으로써변화시킬 수 있으며, 증착재료의 s
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    | 리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.10.17
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    화공실험 보고서
    ) Ion Plating 으로 나뉩니다.?물리증착 PVD는1) 저항가열식 증착 (Evaporation)2) 스퍼터링 (Sputtering)3) 이온플래팅 (Ion Plating ... ■진공증착의 분류?진공증착은 크게1) Physical Vapor Deposition(PVD)이라고 영어로 쓰는 물리증착과2) Chemical Vapor Deposition(CVD ... )라고 부르는 화학증착 두가지가 있습니다.?물리증착은 크게 두가지로 나뉘는데1) 플라즈마를 사용하지않는 일반적인 PVD 즉 Evaporation이라고 하는 저항가열식 증착방법과2
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    | 리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.21
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    온도센서
    다. 박막 써미스터는 알루미나, Si 웨이최 등의 기판 위에 스퍼터링(sputtering) 또는 진공증착(evaporation) 등의 방법으로 감열체및 전극을 약 0.1~10의 두께 ... 수은 SiC 박막 써미스터이다. SiC는 기계적 강도, 내열성, 내부식성이 뛰어난 매우 안정한 재료고서 고주파 스퍼터링법에 의해 SiC 단결검에 버금가는 안정성을 가진 박막을 얻 ... 써미스터이다. SiC는 기계적 강도, 내열성, 내부식성이 뛰어난 매우 안정한 재료고서 고주파 스퍼터링법에 의해 SiC 단결검에 버금가는 안정성을 가진 박막을 얻을 수 있다. (그림
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    | 리포트 | 27페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.04.30 | 수정일 2018.04.26
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    solar cell
    (chemical bath deposition, CBD 또는 "Dip-Coating") 으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft2 ... voltage(Voc) 를 나타낸다. 몰리브덴(Mo) 으로 코팅된 유리기판 위에 p-type 반도체인 CIS층을 증착하고 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 ... 모듈(module)에서 11%의 효율이 기록된 바 있으며 실험실에서는 17%를 상회하는 효율이 재현성 있게 기록되고 있다. CIS층은 진공증착 또는 금속막을 증착한 후 s
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    | 리포트 | 3페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.12.22 | 수정일 2017.03.21
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    플라즈마(plasma) 표면처리
    증착법을 이용, 고순도의 탄소 코팅 제조 *PACVD 장비의 기본 구성은 스퍼터링과 비슷 *코팅층에 고주파 교류 전압을 가함. *코팅 물질을 함유한 가스가 진공조에 유입, 가스 ... 할 부품 4. 플라즈마 시스 5. 고주파 연결 장치 6. 진공 펌프플라즈마 화학 증착법 (장비)DLC 박막기술1. 표면처리란?2. 플라즈마를…3. DLC 박막 기술4. 맺음말스퍼터링 ... 에서의 코팅산업은 주로 도금법에 의한 습식 코팅과 물리증착법이 널리 사용 - 플라즈마 화학증착기술은 물리증착법에 비하여 코 팅층의 접착력이 월등히 우수하고, 상대적으로 낮 은 온도에서 공정
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    | 리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.16
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    태양전지 이슈 - 대한민국 차세대 태양전지로써의 박막형 태양전지의 성장성
    "Dip-Coating") 으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft2 모듈(module)에서 11%의 효율이 기록된 바 있 ... ) 으로 코팅된 유리기판 위에 p-type 반도체인 CIS층을 증착하고 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition, CBD 또는 ... 으며 실험실에서는 17%를 상회하는 효율이 재현성 있게 기록되고 있다. CIS층은 진공증착 또는 금속막을 증착한 후 selenization공정을 거치는 2단계 방법 등으로 만들어진다
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    | 리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.12.13
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    제3장 박막 트랜지스터(TFT)
    의 장점 대면적 증착이 잘됨 . 저온에서 증착이 가능 . 좋은 경계 성질을 유지하며 다른 물질과의 이형 경계를 만들기 쉬움 , 여러 공정을 고안하고 사용할 수 있는 다양성 줌 ... 게이) 내의 높은 에너지를 갖고 있는 gas ion 이 target 표면과 충돌하여 증착하고자 하는 target 입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 공정 . 음극표면에 증착 ... 시킬 target 물질을 장착하고 증착물질의 특성에 영향을 주지 않는 He, Ar 과 같은 불활성 기체를 이용하여 양극에 놓여진 기판 위에 튀어나온 target 물질이 증착되는 것 ( 화학
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    | 리포트 | 43페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.10.22
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    ITO의 일반적인 특성
    에칭 가공성은 비정질막이 우수하다. ITO 박막은 우수한 전기적, 광학적 특성을 가지고 있지만 스퍼터링시 출력, Ar가스입력, 기판온도, 혼합가스(Ar + O2)내의 산소분압 ... , 스퍼터링 후 열처리 온도 및 열처리 분위기 등과 감은 제조변수에 민감◎ITO의 구조적 특성⇒ ITO 구조 특성을 설명하기 앞서 Antiflourite구조와 Fluorite 구조를 설명 ... 하여 전도성과 투명성의 향상을 저해하게 된다는 보고가 있다. 따라서 ITO는 SnO2가 10 wt%이하로 증착 실험을 하게 되는 동기가 되었다.Cubic bixbyte 구조인 In2O3
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    | 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.09.29
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    광통신공학 설계 발표수업 자료 - LED 광방출 효율 향상 방안
    법(PECVD ; Plasma Enhanced CVD) 등이 이용되고, 경면처리 등을 위하여 스퍼터링법 및 전자빔 증착법이 사용된다.epitaxy*본론 - B. 결정 성장 ... 다는 이점이 있다.epitaxy*본론 - B. 결정 성장( ) 기술epitaxy반도체 결정 성장 기술의 종류③ : 유기금속화학 기상 증착법(MOCVD ; Metal Organic ... 이다. 고휘도 LED 생산의 경우에는 이와 같은 방법을 사용하고 있다. 분자 빔 성장법(MBE;Molecular Beam Epitaxy) : 일종의 진공 증착법, 증발하는 Ga 및
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    | 리포트 | 21페이지 | 2,500원 | 등록일 2009.03.25
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    e-beam 증착법
    법(2극 직류 또는 고주파), 반응성 스퍼터링, 이온 플레이팅법 등이 있고, 플라스틱 표면에의 피막 등에 사용되고 있다.(1) 증발방식증착 물질의 증발 방식에는 저항 가열, 전자빔 ... ◎e-beam 증착법◎◎전자빔이란◎전자총에서 나오는 속도가 거의 균일한 전자의 연속적 흐름.전자선(電子線)이라고도 한다. 속도 v의 전자빔에는 드브로이파(波)로서의 파장 λ=h ... 가까이 묻는 방법이 이용된다.◎전자빔을 이용한 증착법◎진공 증착법은 광학박막 분야에서는 가장 일반적인 피막 기술로서 현재는 오직 이 방법만이 사용되고 있다. 이 방법에는 스퍼터 링
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    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.29
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    CCS(Carbon Capture Storage
    다공성 지지체에 팔라듐 박막층을 화학기상증착, 전기도금, 물리적 스퍼터링 등이 시도되고 있다. 팔라듐계 금속막은 IGCC 공정에서 H₂/CO₂의 분리에 가장 큰 장점을 가지고 있
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    | 리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.17
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2025년 12월 09일 화요일
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