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스퍼터링 기상반응법 sputtering dc/rf magnetron rf sputtering evaporator CVD 도금 스퍼터 반도체 공정
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"스퍼터링 증착" 검색결과 401-420 / 637건

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    cvd
    ) ~ 10-3High vacuum 10-3 Torr ~ 10-8Ultrahigh vacuum 10-8 Torr 이하식품생산 진공증착 냉동건조 증류법 스퍼터링 전기제품 neon ... =1.013×105 Pa =1013.3mbar진공 단위 환산표진공의 효과부식, 산화 예방 물질의 끓는점을 낮춰 조기 증발 (농축, 금속 처리의 효과) – 진공증착 흡착 패드 등 ... lights튜브공정 열처리 직접회로생산 장식용코팅 입자가속 화학연구 beam 용접 기상증착 이온주입우주개발 재료연구 금속공학 물리연구 표면연구 Molecular beam epitaxy
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    | 리포트 | 50페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11
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    [금속공학실험]ZnO박막 실험
    , 태양열에너지, 광학 및 미장 등 다양한 분야에 응용되고 있다.진공증착, 이온, 스프터링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링 방법 ... ◆ 실험목적진공 증착시 증착시간에 따른 박막의 특성 변화를 확인할 수 있다.◆ 이론● PVD(물리적 증착법)PVD : Physical Vapor Deposition의 약자로 도금 ... 될 금속을 증발시켜 부착시키는 것으로, 증착막의 두께는 수 A단위에서 mm 단위까지 다양하게 조절할 수 있다.물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태
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    | 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.25
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    [공학] 전자 제품의 증착부품 설계시 고려사항
    증착1. 개 요가스반응 및 이온등을 이용하여 탄화물, 질화물 등을 기관(Substrate)에 피복하여간단한 방법으로 표면 경화 층을 얻을 수 있는 것으로써, 가스반응을 이용한 C ... .V.D와진공중에서 증착하거나 이온을 이용하는 P.V.D로 대별되며 공구등의 코팅에 이용된다.2. C.V.D(화학증착법. Chemical Vapor Deposition)(1) 원 ... 리1) 가스 도금 (Gas Plating), 증기도금(Vapor, plating)등으로 불리어지며 가스반응을이용하여 탄화물, 질화물 등을 기판에 피복한다.2) 증착하려는 물질
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    | 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.15
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    스퍼터링
    위에 물질이 증착되는 것이다. 타겟은 기판과 반대의 상황이 전개된다.② 바이어스 스퍼터링 시스템(bias sputtering system)도체 기판 위에 시편을 놓고 양극 ... 스퍼터링(sputtering)1) 스퍼터링(sputtering)이란?Sputtering은 실로 많은 부분에 사용되어지는 없어서는 안 될 기술이라고 할 수 있다. 스퍼터링이란 ... 물질인 아르곤(Ar)가스를 흘려주면서 target에 직류 전원을 인가하면(㎠당 1W정도), 증착하고자 하는 기판과 Target 사이에 Plasma가 발생한다. 이러한 Plasma내
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    | 리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.11.25
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    화합물 반도체(Compound Semiconductor)
    은 화학 반응을 수반하지 않는 증착기술로서 주로 금속 박막의 증착에 사용되며, 이에는 진공 증착(vacuum evaporation)법과 스퍼터링(sputtering)법 등이 있다. 반면 ... 확산(diffusion) 공정, 산화(oxidation) 공정, 박막증착(thin film deposition) 공정, 사진식각(photolithography) 공정, 세정(c ... 물리적 증착(physical vapor deposition; PVD)법과 화학기상증착(chemical vapor deposition; CVD)법으로 크게 분류된다. PVD법
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    | 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.29
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    로이 유리(Low-E Glass)
    확대도건축재료와 구법 4. Low-E 유리의 제조공법4-2. 진공 증착밥(Magnetron Sputtering, Soft-coationg)√진공증착법 이란?: 반사유리의 제조공법 ... 생리Hard Low-E 유리제조방법-마그테크론 스퍼터링(Magnetron Sputtering)-표면에 Ag, Au 등과 같은 적외선반사특성이 우수한 금속을 진공증에서 얇게 코팅→복 ... 를 소량첨가)-후처리 가공이 자유롭다.-코팅막의 균진성이나 단열성이스퍼터링 방법에 에 비해 떨어짐방사율-방사율(Emissivity) : 0.1~0.03-방사율(Emissivity
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    | 리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.09.20
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    박막증착 장비의 종류 및 원리와 GaN LED의 이해
    복합물을 순도, 조직, 접착성을 조절하여 피처리물 표면의 기계적, 화학적, 전지적 및 광학적 특성 등을 개질 처리하는데 이용되고 있다. PVD의 종류로는 진공증착, 이온 스퍼터링 ... ◎리포트 내용 및 목표- 박막과 박막증착 장비의 종류, 원리에 대해 이한해다.- 반도체와 홀효과(Hall Effect)의 관계를 이해한다.- GaN LED가 무엇이며 용도가 어떠 ... 한지 이해한다.◎박막증착 장비의 종류(Chemical vapor deposition 중심)- 박막두께가 단원자층에 상당하는 0.1㎚에서 10㎛정도의 두께를 가진 기판 상에 만들어진
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    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.30
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    SK하이닉스 공정(연구개발) 최종합격 자기소개서
    웨이퍼에 스퍼터링을 통해 박막을 증착하고 패터닝을 하는 과정에 대해 배우고, 패턴의 두께와 어닐링 여부에 따른 비저항을 측정하는 기초적인 실험이었습니다. 그러나 이 공정을 연구 ... 하여 엄청나게 큰 용량의 데이터를 저장할 수 있는 반도체를 만들 수 있다는 사실이 매우 흥미로웠습니다. 방진복을 입고 실험실에 들어가 박막 증착 과정과 패터닝 과정을 직접 본 것도 매우
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    | 자기소개서 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.11.06
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  • 자료 표지
    다층합금도금
    에서 사용되는 로켓 부품에 Cu/Ag와 Cu/Co합금을 적용하기 위한 연구 진행중다층 합금도금의 공정1960년대에는 진공증착 기술로 다층박막 제조 현재는 스퍼터링이나 전기도금으로 제조
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    | 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.11.05
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    산화물반도체,Oxide Semiconductor
    하여 플라스틱 기판까지의 적용에는 향후 해결해야 할 점이 많이 있다. 더구나 유기발광층 화소를 형성한 후 증착하여야 하는 음극(cathode)으로도 사용하기 위해서는 스퍼터링에 의한 ... 다. 그러한 이유로 기존의 SiO2를 대체할 상온 증착이 가능하고, visible range (400~700 nm)에서 높은 투과도를 갖는 High-k material을 찾아야한다는 ... 을 나타내고 자외선을 흡수하며, 고온 증착의 magnetron-sputtered 박막의 경우 최대 5O hm/square의 저저항 박막 형성이 가능하지만 저온증착의 경우 저항이 증가
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    | 리포트 | 9페이지 | 2,500원 | 등록일 2009.10.18
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    [OLED, LED] Sputtering을 이용한 박막 증착
    Sputtering을 이용한 박막 증착1. 실험목적Sputtering을 이용하여 박막을 증착해보고, Sputtering의 특성을 파악해본다. RF Sputter를 직접 다루 ... 의 표면 탈출이 발생하게 되는 현상을 물리학에서 “sputtering”이라고 말한다. 증착에서 sputtering이라 하면 target 원자의 방출과 그 원자의 substrate ... 에의 부착이라는 2가지 과정을 포함하는 개념으로 볼 수 있다. Sputtering process의 가장 우수한 특성은 증착된 물질의 기상으로의 이동이RF Sputtering
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    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.05
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    여러가지 박막의 응용
    큰 입자가 증착되어 박막이 못쓰게 되는 것을 막기 위해 전용 증착원과 보트를 사용해야 한다. 그래서 전자선 가열증착, 음극 스퍼터링, 이온 보조방법 같은 것을 사용하는 경향 ... 중심이 거의 없는 완전한 단결정이 사용되어야 함을 의미한다,Si 태양전지를 위해서 단결정과 다정질 Si막의 제조방법이 여러 가지로 연구되어왔다. 증착, 스퍼터링 CVD등 외 ... 적으로 커패시터들은 유전체로 기름종이나 여러 가지 포일(foil)을 증착한 전극으로 만든다. 이들 커패시터는 한 가지 이점이 있는데, 어떤 주어진 곳에 단락이 발생하여도 전극의 일부
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    | 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.01.24
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    [재료공학]SBT 박막제조와 누설전류 정전기용량 측정 결과 보고서
    Magneton Sputter (2개의 DC, 1개의 RF)Ti 증착 : DC Sputtering 두께 400Å 상향 스퍼터링 (접착제 및 Pt 확산 방지)SBT 증착 준비SBT ... 는 2000Å으로 20분 동안 증착한다. DC 스퍼터링은 특성은 좋지 않게 나타나지만 스퍼터 속도가 좋다. 그리고 스터러링 할 때 진공을 만들어야 하는데 그 이유는 Si위에 Ti ... 재료공학기초실험ⅢSBT 박막제조와 누설전류,정전기용량 측정 결과 보고서분반 :조 :학번 :이름 :■ 실험목적SBT 박막 증착 과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 온도 및
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    | 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19
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    [sputter]sputter 종류와 mechanism
    이 만들어지게 하는 방법을 물리 기상증착법(PVD)이라고 한다.크게 스퍼터링(sputtering) 과 증발법(evaporation) 으로 나눌 수 있다.● Sputtering ... 여 중성화되어 중성 원자로 target에 충돌하기 때문이다.VLSI의 금속 박막 증착에 많이 사용되어지며, 경우에 따라서 Si, SiO2 등의 박막형성에도 이용된다.□ 스퍼터링의 장 ... 라고 하며, 증착 속도는 기체의 압력과 전류 밀도에 의존한다. DC 스퍼터링 시스템의 장치는 기본적으로 아래 그림과 같다.이 장치는 장치와 조작이 간단하다는 장점이 있는 반면 낮
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    | 리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.02.26
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    플라즈마
    한 부분에서 이 플라즈마가 이용되고 있습니다. 주로 식각, 증착, 스퍼터링 등의 과정에서 응용됩니다. 특히 식각에 있어서는 플라즈마의 물리적 성질과 화학적 성질을 동시에 사용하여 수십
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    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.14
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  • 자료 표지
    반도체 집적소자 제조 단위공정 ( 금속박막공정, 사진공정, 식각공정 )
    상으로 이동된다.◎ 이온도금진공 증착이온 도금진공증착과 유사하지만 기판으로 이동하는 과정에 가스형태의 Glow discharge를 거치며, 이렇게하여 기화된원자를이온화시킨다.◎ 스퍼터링 ... 성)1. 금속박막공정박막 증착의 기술로써, 기판위에 패턴을 나타내기 위해 금속 막을 입히는 공정이다. 이때 박막을 입히는 방법은 크게 두 종류로 나뉜다. CVD와 PVD의 방법인데 ... , 우리는 PVD의 방법 중에서 sputtering을 사용한다. 이 기계는 학교 박막 실험실 내에 비치되어 있는 기계와 같다.Thin film deposition이라 함은 증착
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    | 리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.06
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    [공학]Spin coating 법을 이용한 발광박막의 제조
    Ⅰ. 서 론1-1. 실험 목적Spin coating 법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조공정의 이 해를 돕는다.1-2. 실험 배경스퍼터링(sputtering ... ) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며, 현재 는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. 스퍼터링 (sputtering)은 높은 에너지(> 30 eV ... -ion)이라면 cathodic sputtering이라고 부르 는데, 대부분의 스퍼터링은 cathodic sputtering이다.보통 스퍼터링에는 양의 이온이 많이 사용
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    | 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.22
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    태양전지
    전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft2 모듈(module)에서 11%의 효율이 기록된 바 있으며 실험실에서는 17%를 상회하는 효율이 재현 ... 하기 위한 방안으로 기판의 두께를 혁신적으로 줄이는 기술, 또는 유리와 같이 값싼 기판위에 박막형태의 태양전지를 증착시키는 기술이 주목을 받고 있다. 기존의 박막 제조공정을 이용 ... CIS층을 증착하고 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition, CBD 또는 "Dip-Coating") 으로 입히고 투 명
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    | 리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.12.18
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    박막의 제조방법
    목 차1. 진공 증착(Vacuum Evaporation)1) 진공 증착의 원리 및 과정2) 관련 설비가. 진공실나. 진공펌프 장치다. 압력 측정장치라. 피처리물 지지장치마. 증발 ... 원3) 피복층 조직4) 진공 증착의 특징5) 진공 증착의 응용2. 화학적 증착법(Chemical Vapor Deposition)1) CVD의 정의2) CVD 원리 및 과정3 ... Chemical Vapor Deposition)7) CVD의 응용3. 물리적 증착법(Physical Vapor Deposition)1) PVD의 특징2) MBE3) Sputtering
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    | 리포트 | 52페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.12.06
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    Solar Cell
    구조를 하고 있으며 CIGS가 태양광 흡수물체 역할을 한다. 박막 증착방법으로는 스퍼터링(sputtering), 잉크프린트, Electroplating 등이 개발되어 있
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    | 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.12.11 | 수정일 2014.08.20
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