"스퍼터링 증착"의 검색결과 입니다.

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스퍼터링 기상반응법 sputtering dc/rf magnetron rf sputtering evaporator CVD 도금 스퍼터 반도체 공정

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"스퍼터링 증착" 검색결과 381-400 / 637건

탄소나노튜브 합성

글라스 기판위에 Fe, Ni, Co 등의 금속을 열증착법이나 스퍼터링법으로 증착하여 사용합니다.기판에 증착된 촉매금속은 암모니아와 수소 가스 등을 이용하여 식각시킴으로써, 나노크 ... 덩있습니다. 탄소나노튜브의 기초물성 또는 구조를 연구하거나 응용연구를 하기위해서는 탄소나노튜브에 붙어 있는 탄소파티클을 반드시 정제해야 합니다.2) 레이저 증착법 (Laser ... vaporization)1995년에 미국 라이스대학의 Smalley 그룹은 레이저 증착법에 의해서 탄소나노튜브를 합성하였습니다. 그림 14는 Smalley 그룹에서 사용한 레이저 증착

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| 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.04.23

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[공학기술]박막

) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD) 4. 분자빔 에피택시 (MBE)1. 화학 기상 증착 (CVD) ① LPCVD ② APCVD ③ PECVD ④ MOCVD 2. 물리 ... 기상 증착 (PVD) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD) 4. 분자빔 에피택시 (MBE)화학 기상 증착 (CVD)Chemical Vapor Deposition ... 구조1. 화학 기상 증착 (CVD) ① LPCVD ② APCVD ③ PECVD ④ MOCVD 2. 물리 기상 증착 (PVD) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD

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| 리포트 | 38페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.05.23

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진공의 기초와 증착이론

라고 부르는 화학증착물리증차의 종류 저항가열식 증착 (Evaporation) 스퍼터링 (Sputtering) 이온플래팅 (Ion Plating)화학증착의 종류 Pack cementation Thermal CVD 플라즈마 CVD{nameOfApplication=Show} ... ) 냉온 펌프(Cryogenic pump) Getter pump Stream ejecter 펌프 , Water jet 펌프증착 이론진공 증착 이란 금속 또는 비금속의 작은 조각을 진공 ... 속에서 가열하여 그 증기를 물체표면에 부착시키는 일을 일컫는다. 즉, 고 진공상태 속에 피복될 물체(증착 을 원하는 물체)와 그 표면에 부착시키려는 금속이나 크롬조각을 끼운 텅스텐

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| 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.10

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SEM에 관한 예비/결과보고서

어 영상의 질을 떨어뜨리게 된다. 따라서, 세라믹이나 고분자 등의 부도체시료는 탄소막의 진공증착이나 금-팔라듐을 스퍼터링(sputtering)하여 전도성 코팅을 하여야 한다. 시편 ... 결과, SEM상에 장애가 일어나 안정된 상관찰이 불가능하게 된다. 이러한 charge-up을 방지하기 위하여 상관찰전에, 진공증착장치, 이온코팅장치등을 사용해 탄소, 금, 금-팔라듐 ... 은 시료표면에 탄소, 금 등을 얇게(50∼200Å) 코팅한다. 코팅을 하는 방법은 진공증착법과 Ion sputter법이 있다. 이중 진공증착법은 10-4∼10-7torr정도로 배기

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| 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.08.31

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다층 고반사 박막 코팅

(1) Physical vapor deposition : 열 저항 증착, 전자빔 증작, 스퍼터링(2) Chemical vapor deposition(3) Physical liquid ... 1. 실험의 목적진공증착의 원리와 무반사 박막의 원리를 알아보고 무반사 박막을 설계, 제작하여, 이론적인 박막의 특성과 제작된 박막에서 측정된 특성을 비교, 분석한다.2. 관련 ... 이론1) 진공 증착진공 증착이란 진공 중에서 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주 보고 있는 기관의 표면에 박막을 만드는 것을 말한다.금속이나 화합물이 증발할 만큼 고온

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| 리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.06.25

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박막증착 (박막공정)

(evaporation), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 아크증착(arc deposition), 이온 빔 보조증착 (ion ... 박막 증착반도체 소자나 집적회로의 제작에는 많은 종류의 박막(Thin film)이 증착된다. 증착이란 진공 중에서 코팅시키고자 하는 물질을 기화 또는 승화시켜서 원자 또는 분자 ... 단위로 기판 표면에 응고되도록 함으로써 피막을 형성시키는 방법으로 성장효율과 피막의 순도를 향상시키기 위해서 대개 진공 중에서 이루어진다.박막 증착은 도금 물질계 및 응고 방법

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| 리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.04.13

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PACVD

되는 유속에 의해 지배되는 증착법 이라고 풀이하였다. 이온플레이팅도 스퍼터링과 비슷하게 플라즈마를 사용한 증착공정이지만 스퍼터링과는 달리 보통 증착하고자 하는 물질을 증발법으로 기상 ... discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. Mattox는 이것을 ion-plating 이라 명명하고, 증착전이나 증착과정중에 고에너지의 이온으로 형성 ... 은 에너지를 함유한 중성원자들과 충돌하게 된다. 이런 높은 에너지를 가진 입자와의 충돌 때문에 ion-plating법은 기존의 물리적인 증착공정에 비해 다음과 같은 장점을 가진다

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| 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.04

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진공과 진공펌프에 대해서~

Deposition)스퍼터링 (sputtering)진공 증착법 (Evaporation)- CVD (Chemical Vapor Deposition)압력: LP-CVD (Low presure ... )와 CVD대해 언급하면, PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 (Thermal evaporation ... molecular pump 등 기계식 펌프-entrapment 펌프: ion pump, cryopump 등 흡착식 펌프8. 진공과 증착 기술- PVD (Physical Vapor

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| 리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17

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SEM(결과) 레포트

의 질을 떨어뜨리게 된다. 따라서, 세라믹이나 고분자 등의 부도체시료는 탄소막의 진공증착이나 금-팔라듐을 스퍼터링(sputtering)하여 전도성 코팅을 하여야 한다. 코팅을 하 ... 전자도 포함되어 있다. 코팅은 시료표면에 탄소, 금 등을 얇게(50∼200Å) 코팅한다. 코팅을 하는 방법은 진공증착법과 Ion sputter법이 있다. 이중 진공증착법은 10-4 ... 각도로부터 시료표면에 금속의 증발입자를 골고루 입혀야 하므로 시료를 여러 각도로 회전시키는 짐벌기구가 부착되어 있는 증착기를 사용하는 것이 좋다. 증착재료로는 일반적으로 금

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| 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.10.11

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박막 증착 방법, 종류

1. 박막증착 방법PVD(physical vapor deposition)법옛날부터 박막형성에 이용되어 온 방법으로서, 다른 방법으로는 할 수 없는 저온처리에 의해서 비교적 간단히 ... 박막을 얻을 수 있기 때문에 최근 표면경화의 한 수단으로 주목을 받고 있다.PVD법을 크게 분류하면 ① 이온을 이용하지 않는 진공증착(evaporation), ② 이온을 이용 ... 하는 스퍼터링(sputtering), 이온플레이팅(ion plating), 이온주입(ion implantation), 이온빔믹싱(ion beam mixing) 등으로 대별할 수 있

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| 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.14

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박막제조

적으로 훨씬 고온의 환경을 요구한다.1. 기상 증착법광전자 화공소재 실험 -■ 건 식- PVD(Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 ... [ 목 적 ]화학 기상 증착 공정의 기본 원리를 이해하고 직접 실험을 통하여 박막을 만들어 보고 그 특성을 분석하여 실제 연구에 응용할 수 있는 기본적인 능력을 배양하는 데에 본 ... 실험의 목적이 있다.[ 이 론 ]기상증착법 (Vapor Deposition)은 크게 두 가지로 분류된다.하나는 PVD (Physical Vapor Deposition)이고,다른

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| 리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.30

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[공학]박막공정에대해

. 이 원자를 기판위에 증착시킨다 열증발 증착법의 분류증기를 발생시키기 위한 열의 생성 수단에 의해 열 증발 증착법 유도열 증발 증착법 전자빔 증발 증착법스퍼터링 ... 광학적 용도로 널리 사용 단점: 증착속도가 느려서 생산성이 떨어진다 장비가 비싸다 응용분야 :고속도강 공구강 내식성 장식성 도금 전자부품스퍼터링의 종류직류, 고주파, 반응성 방법 ... 에 의해 DC 스퍼터링 RF 스퍼터링 Magneton 스퍼터링 반응성 스퍼터링 혼합 스퍼터링DC 스퍼터링증발증착법과 스퍼터링 증착법 비교증발증착법은 높은 온도 에서 금속만 가능

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| 리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.06.16

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[공학]FCCL

실험 제목FCCL(Flexible Copper Clad Laminates)실험 목적Polyimide(PI)필름을 전(개질)처리한 뒤 스퍼터링과 도금을 통해 연성동막적층필름 ... (Flexible Copper Clad Laminated)을 제작해 보는 것으로 제작한 FCCL의 기판(Polyimide)과 증착, 도금 층의 부착력을 테스트해 부착력 차이를 알아보 ... 하여 기판(Polyimide)의 표면을 화학적으로 개질처리 한다. 개질처리란 진공의 챔버 안에서 기판이 코팅 또는 증착되는 것이 아니라 기판의 표면만 활성화시켜주는 것이다.① 개질

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| 리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.01.18

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주사전자현미경 SEM 관찰 레포트

이나 고분자 등의 부도체 시료는 탄소막의 진공 증착이나 Au-Pd을 스퍼터링하여 전도성 코팅을 하여야 한다.2.4 영상신호 검출장치가속전자는 고체 시료와 반응하여 여러 가지의 신호

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| 리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.01.26

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박막의 응용분야, 각각의 property 별로 정리

되고, 증착이나 스퍼터링 방법으로도 만들어진다. 평판형 쌍극 트랜지스터의 기본적인 형태는 아래 그림1. 에 나타내었다그림 1. 평판형 쌍극 트랜지스터의 형태박막 트랜지스터는 TFT 라고 ... 며, 표면의 모양도 훨씬 좋게 보인다. 이와 같은 박막 증착에는 저압 플라즈마 증착, 반응성 바이어스 스퍼터링, 반응성 이온보조 스퍼터링, 이온주입 등의 방법이 사용된다.그림 5 ... 와 다이오드의 소형화는 박막기술의 발달로써 이룰 수 있었다. 미세한 전자회로소자들 사이의 접촉과 전기적 연결에는 진공증착한 금속 박막이 알맞다는 것이 연구를 통하여 여러 번 증명 된 바

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| 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.01.24

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[금속재료공학]스퍼터링

2001170040신소재 공학과최 종 혁1. 실험 제목스퍼터링 (SPUTTER)2. 실험 목적? 스퍼터링법을 이용하여 금속(구리)을 증착시킨다.? 밀착력 측정법을 숙지하고 실제로 ... 시킬 수 있기 때문이다.② 라디오 주파 스퍼터링(radio frequency-sputtering)△ 라디오 주파 스퍼터링 시스템직류 인가 스퍼터링의 가장 큰 단점은 절연물질의 증착이 불 ... 을 이용한 박막의 증착이 가능하게 된다.(5) 스퍼터링의 응용? 스퍼터링 방법을 사용하면 막의 두께가 비교적 균일하며, 내화 재료 및 절연막의 형성도 가능하며, 합금 target

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.15

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플라즈마

에 R 축전 전기장은 ICP에서 플라즈마 초기 방전(ignition)에 기여하기도 하지만 플라즈마와 안테나 사이에 존재하는 유전체를 스퍼터링 현상에 의하여 손상을 주고 플라즈마의 균일 ... .스퍼터링 (sputtering)스퍼터링 장치 I원리와 구성Sputtering은 실로 많은 부분에 사용되어지는 없어서는 안 될 기술이라고 할 수 있다. 스퍼터링이란 간단히 말 ... 아르곤(Ar)가스를 흘려주면서 Target에 직류 전원을 인가하면(㎠당 1W정도), 증착하고자 하는 기판과 Target 사이에 Plasma가 발생한다. 이러한 Plasma내에는 고출력

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| 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.11.01

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SEM(주사전자현미경)의 구조와 원리

는 탄소막의 진공 증착이나 Au-Pd을 스퍼터링하여 전도성 코팅을 하여야 한다.그림5. Backscattered electron detector의 원리그림6. Secondary

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| 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.14

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스퍼터링

다면 전자밀도는 증가하고 높은 이온화 효율을 얻을수 있다.스퍼터링의 큰 약점중 하나는 증착속도가 느려서 생산성이 떨어진다는 것이다. 이러한 단점을 보완키 위해 T.horton은 마그네트 ... Sputteringwww.kyungwon.ac.kr방전 및 고전압차 례PVD and CVD스퍼터링이란....스퍼터링의 기본 원리스퍼터링의 종류Thin film Deposition ... 하여, 표면밖으로 튀어 나오게 된다. 이러한 현상을 스퍼터링 현상이라고 부르고 있다. 이 현상은 1842년 Grove에 의해서 발 견되고 박막에의 이용은 1870 년대부터 행해져 왔

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| 리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.20

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화학/물리화학/태양전지

-type CdS를 주로 화학적 용액성장 법으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다.④GaAs 태양전지: 태양전지 재료중에서 가장 높은 효율을 달성 ... 다음 그 물질의녹는 점에 가까운 온도로 가열했을 때 가루가 서로 접한 면에서 접합이 이루어지거나 일부가 증착하여 서로 연결되어 한 덩어리로 만든다.-사용되는 예: 적당히 구멍이 있 ... 1eV의 밴드갭을 가지고 있고 보통 0.5V이하의 open-circuit를 나타낸다. 몰리브덴으로 코팅된 유리기판위에 p-type 반도체인 CIS층을 증착하고 그 위에 n

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| 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.04.21

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