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스퍼터링 기상반응법 sputtering dc/rf magnetron rf sputtering evaporator CVD 도금 스퍼터 반도체 공정

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"스퍼터링 증착" 검색결과 21-40 / 637건

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AlOx 봉지 박막을 갖는 OLED 소자의 수명 특성 (Life time characteristics of OLED device with AlOx passivation film deposited by RF magnetron sputtering)

한국표면공학회 안오진, 주성후, 양재웅

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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저온 스퍼터링법으로 증착된 ITO박막의 온도 변화에 따른 구조, 표면 및 전기적 특성 (The Electrical, Optical and Structural Characteristics of ITO Films Formed by RF Reactive Magnetron Sputtering)

한국진공학회 이석열, 최재하, 김지수, 정재학, 이임수, 김재열

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.05 | 수정일 2025.03.06

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이온 빔 스퍼터링법에 의한 Bi2212 박막의 동시 증착 특성 (Characteristics of Co-Deposition in Bi2212 Thin Films Fabricated by using the Ion Beam Sputtering Method)

한국화학공학회 박용필, 천민우, 임중관

논문 | 3페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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대향 타겟식 스퍼터링으로 증착한 ITO 박막이 적용된 유기발광다이오드의 특성 (Characteristics of OLED cells fabricated with ITO films deposited by using facing target sputtering (FTS) system)

한국반도체디스플레이기술학회 김상모, 이상민, 금민종, 이원재, 김경환

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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스퍼터링법으로 증착된 산화아연 박막의 구조적 성질에 대한 산화마그네슘 완충층의 효과 연구 (Effect of MgO Buffer Layer on the Structural Properties of Sputter-grown ZnO Thin Film)

한국세라믹학회 임영수

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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롤투롤 스퍼터링 증착을 통한 납(Pb) 대체용 방사선 차폐필름 개발 (Research on Radiation Shielding Film for Replacement of Lead(Pb) through Roll-to-Roll SputteringDeposition)

한국방사선학회 김성헌, 변정섭, 지영빈

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.23 | 수정일 2025.05.13

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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 CdS 박막의 CdCl_2 열처리 효과 (Effects of CdCl_2 Heat Treatment on the Qualities of CdS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering Technique)

한국재료학회 최수영, 천승주, 정영훈, 정영훈, 배수현, 김지현, 탁성주, 김동환

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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유도결합형 플라즈마를 사용한 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 증착 및 특성분석 (Characterization and deposition of ZnO thin films by Reactive Magnetron Sputtering using Inductively-Coupled Plasma (ICP))

한국반도체디스플레이기술학회 김동선

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AZO 박막의 특성에 대한 급속 열처리 효과 (Effects of Rapid Thermal Annealing on the Properties of AZO Thin Films Grown by Radio-frequency Magnetron Sputtering)

한국진공학회 조신호

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구 (Ultra-thin aluminum thin films deposited by DC magnetron sputtering for the applications in flexible transparent electrodes)

한국마이크로전자및패키징학회 김대균, 최두호

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.06 | 수정일 2025.05.17

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RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구 (A Study on the Vanadium Oxide Thin Films as Cathode for Lithium Ion Battery Deposited by RF Magnetron Sputtering)

한국산학기술학회 장기준, 김기출

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.13 | 수정일 2025.06.17

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스퍼터링과 원자층 증착법으로 제작된 박막형 고체산화물 연료전지 환원극 기능층 특성 평가 (Cathodic Functional Layer via Sputtering and Atomic Layer Deposition for Thin-Film Solid Oxide Fuel Cells)

한국정밀공학회 이재윤, 이상혁, 김현택, 박용찬, 이근진, 이창헌, 최성규, 홍순욱

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.10 | 수정일 2025.07.19

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rf 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 Mg-doped Zinc Tin Oxide막의 특성에 미치는 산소의 영향 (Effects of Oxygen on the Properties of Mg-doped Zinc Tin Oxide Films Prepared by rf Magnetron Sputtering)

한국전기전자재료학회 박기철, 마대영

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성 (Structural and Optical Properties of ZnO/Glass Thin Films Grown by Radio-Frequency Magnetron Sputtering with a Powder Target)

한국진공학회 선정호, 강현철

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Al 도핑된 ZnO 투명 전도 산화막의 Ar 유량에 따른 특성 (Properties of Al-doped ZnO Transparent Conducting Oxide Films Deposited with Ar Flow Rate by RF Magnetron Sputtering)

한국진공학회 이인환, 김홍배, 김덕규

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 In2O3 박막의 특성에 산소 유량비의 변화가 미치는 효과 (Influence of Oxygen Flow Ratio on the Properties of In2O3 Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering)

한국진공학회 곽준호, 조신호

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.16 | 수정일 2025.07.20

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CIGS 태양전지의 윈도우 층에 적용 가능한 스퍼터링으로 증착한 AZO 박막의 공정압력의 영향에 따른 특성 연구 (A Study on the Effect of Process Pressure on AZO Thin Films Sputtered for the Windows Layers of CIGS Solar cells)

한국반도체디스플레이기술학회 윤여탁, 조의식, 권상직

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.15 | 수정일 2025.06.17

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마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Au 박막의 전기전도특성에 미치는 열처리 온도와 Ta 삽입층의 영향 (The effect of annealing temperature and Ta layer on the electric conductivity of Au thin film deposited by the magnetron sputtering)

한국진공학회 최혁철, 유천열

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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증착 온도가 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 SnO2:Eu3+ 박막의 특성에 미치는 영향 (Effects of deposition temperature on the properties of SnO2:Eu3+ thin films grown by radio-frequency magnetron sputtering)

한국표면공학회 조신호

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.16 | 수정일 2025.07.20

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산소 어닐링이 마그네 트론 스퍼터링으로 증착된 undoped ZnO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향에 대한 연구 (A Study on the Effect of O2 annealing on Structural, Optical, and Electrical Characteristics of Undoped ZnO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering)

대한전자공학회 윤의중, 박형식

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.06

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