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스퍼터링 기상반응법 sputtering dc/rf magnetron rf sputtering evaporator CVD 도금 스퍼터 반도체 공정
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"스퍼터링 증착" 검색결과 261-280 / 637건

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    진공증착 (Sputtering)_pre
    스퍼터링 증착방법의 원리를 알아본다.그리고 증착된 박막의 구조가 압력, 전류에 따라 어떻게 변하는지 확인해본다.Ⅱ Theory1. 진공펌프진공펌프(vacuum pump)는 대기압 이하 ... 압력계는 꺼진다.3. Sputtering스퍼터링 기술은 웨이퍼에 금속 박막과 절연체 등을 증착하는 방법이다. 이는 물리적인 증착 방법인데 스퍼터 될 물질을 직접적인 가열없이 증착 ... 진공증착 (Sputtering)ⅠObject진공시스템에 포함되어 있는 압력계의 펌프의 원리를 이해하고, 진공도에 따라 사용할 수 있는 압력계와 펌프의 종류를 알아본다. 또한
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    | 리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10
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    박막태양전지에 관한 발표자료, ppt 설명본, CIGS 박막, 건물일체형 박막전지에 관한 전반적인 내용 요약 및 기술.
    의 공정기술에 대해 살펴보자면, 일단 하부전극에서 스퍼터링(표면을 매끈하게 하는 공정)을 하고 흡수층에서 동시 발법으로 CIGS를 증착시키게 되고 완충층과 상부전극의 스퍼터링 까지 마치 ... , 그림으로 자세히 설명하도록 하겠다.그림을 보게되면 1단계에서 3단계까지 나열되어 있다. 동시 증발법으로 증착시 2단계 동안Cu가(In,Ga)2Se3에 공급되는데 이 Cu는 Cu(In
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.11.25
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    [재료공학]박막의 증착 공정
    은 온도). 그러나 높은 온도는 화학반응을 쉽게 하여 나쁜 영향을 끼치기도 한다.2.7 스퍼터링 증착법Reactive vs non-reactive process① non-reactive ... 다. (∵ 대부분의 화합물 타겟은 sputtering yield 가 작고 이차 전자의 방출량이 많다.)스퍼터링 기술, 물질, 증착 건에 의존하므로 타겟 물질에 따라 막이 같은 화학조성을 갖 ... 박막증착공정모재 표면에 수 마이크로미터 정도의 두께를 갖는 이종물질을 증착함으로써 표면성질을 개선하거나 특수한 기능을 갖는 구조를 제조하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 박막
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    | 리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09
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    금속 산화물 및 질화물 합성 (예비)
    들의 기체상이 기판으로 이동하여 박막이 형성된다. 스퍼터링에 의한 박막의 제조 방법은 기타의 다른 박막의 제조법에 비해 비교적 낮은 온도에서 증착이 가능하므로 증착층과 기판사이의 열 ... 있다.반응성 스퍼터링이란 증착하려는 박막성분중 하나 이상의 성분을 기체상으로부터 타겟 물질과 반응시켜 원하는 조성의 박막을 제조하는 방법이다. 이 방법은 복잡한 화합물을 금속 타겟다. ... 해서는 입자의 크기가 미세해야 하며, 좁은 입도분포를 가져야 한다.표 1에 지금까지 알려진 질화알루미늄의 분말합성법과 박막합성법(화학증착법)을 실었다. 분말의 합성법 중에서 공업
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    | 리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.04.04
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    77태양전지
    전지구리(Cu) - 인듐(In) - 갈륨(Ga) - 셀레늄(Se)의 4가지 원소가 결합된 화합물 반도체인 CIGS(CuInGaSe2)를 기판 위에 박막 형태로 증착하여 제작한 태양 ... CIGS 흡수 층 제작→ co-evaporation, sputtering, 유기금속 기상성장법(MOCVD) co-evaporation(동시 증착법) 진공 챔버 내에 설치된 작은 전기로 ... 의 내부에 각 원소를 넣고 저항가열하여 기판에 진공증착 시켜 CIGS 박막을 제작하는 기술 장점 : 제작공정 간단 단점 : 진공장치 내부의 오염 제작비용 저렴 양질의 박막제장 용이
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    | 리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18
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    센서에 대하여
    ,ZnO등의 N형 산화물 반도체의 소결체와 그 후막, 증착이나 스퍼터링으로 제작된 얇은 막을 가열하고 가스 속에서의 전기 저항의 변화로 가스를 검출한다.SEN0127 아날로그 가스센서
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    | 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.07.15
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    다양한 신소재합금
    3Sn이 생긴다.초전도재료의 가공은 선이나 테이프 형태로 만드는 선재화기술 외에도 도포, 증착, 스퍼터링 등에 의한 박막화 기술, 필요한 형태로의 소결성형, 그리고 단결정 제조기술
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    | 리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2017.06.14
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    ITO 후막의 전기전도도 및 투과도 측정
    된 반대편의 평행판 위에 놓여지게 되는데 증착되는 과정은 먼저 챔버를 진공으로 만든 다음 낮은 압력의 스퍼터링 기체, 보통 아르곤을 챔버내로 흘려주게 된다. 전극에 전압을 가해주 ... 는 플레이트로 가속되게 되는데 아르곤 이온의 충격으로 소스원자와 분자들은 플레이트로 부터 방출되어 웨이퍼로 날아가 증착이 된다.스퍼터링 기술의 큰 약점 중 하나는 증착속도가 느려서 ... 는 전기전도가 우수하면서 Band-gap이 2.5eV이상이고 가시광역에서 투명하기 때문에 디스플레이의 투명전극에서 많이 사용된다. 디스플레이 용도로 쓰일때에는 스퍼터링을 사용해서 증착
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    | 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.10.31
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    CIS,CIGS
    태양전지의 흡수층 제작 방법은 동시증착(co-evaporation)법, 스퍼터링(sputtering)법, 전착(electro-deposition)법, 유기금속 기상성장법 ... (molecularorganic chemical vapor deposition, 이하 MOCVD)법 등이있고, 이들 중 상용화가 추진 중인 제작방법은 동시증착법과 스퍼터링법이다.동시증착법 ... ma인 동시증착법과 스퍼터링법은 시료 물질이 진공 쳄버 내를 심각하게 오염시키는 반면 클리닝이 어렵다는 단점이있다. 특히, 동시증착법의 경우 셀레늄에 의한 심각한 진공장비의 오염
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    | 리포트 | 18페이지 | 15,000원 | 등록일 2010.12.22 | 수정일 2022.08.12
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    [기계공학실험] 마이크로 표면 측정
    (evaporation) 증착법과 물질에 물리적인 충격을 주는 방법인 Sputtering 증착 법으로 나뉠 수 있다. 종류를 살펴보면 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔 증착 법 ... 적 방법 PVD(Physical Vapor Deposition)PVD 방법은 증착 대상물의 화학적 구조의 변화가 없이 물리적인 상태(phase)가 변하여 기판에 증착 되는 것을 말 ... (E-beam evaporation), 열 증착 법 (Thermal evaporation), 레이저 분자 빔 증착 법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitax.
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    | 리포트 | 10페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.09.06
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    sputtering을 통한 metal deposition 및 I-V, C-V 측정
    . 서울대학교 플라즈마 표면 연구실 진공기술 강의자료'3.진공 증착 장비의 종류와 특징-스퍼터링'2. http://www.ee.byu.edu/cleanroom/ohmic-sc ... 고 I-V, C-V 측정을 통해 wafer와 금속간의 전기적 특성을 확인해 본다.실험이론1. Sputtering1) 스퍼터링 현상Glow discharge를 이용하여 ion을 형성 ... 부분의 원자는 산란 때문에 낮은 에너지로 기판에 도달?기판-target 거리가 멀수록 산란 효과가 커서 증착속도 감소② gas pressure?기체 압력이 너무 낮으면 - 플라즈마
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    | 리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21
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    금속 박막증착
    스퍼터의 원리 및 특성- DC 스퍼터링은 diode 스퍼터링 또는 cathode 스퍼터링 이라고 하며, 증착 속도는 기체의압력과 전류 밀도에 의존한다. DC 스퍼터링 시스템의 장치 ... 1. 금속 박막의 증착장비 종류 및 특성- 금속박막 증착에는 일반적으로 물리 기상 증착(PVD)을 많이 사용한다.실험장비는 DC 스퍼터, RF 스퍼터, 마그네트론 스퍼터, E ... -beam evaporator 등이 있다.화학 기상 증착(CVD) 에서도 일부가 금속 박막 증착에 사용하는데 실험장비는 MOCVD,PECVD 등이 있다.- 물리 기상 증착(PVD
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.24 | 수정일 2015.02.12
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    진공증착 (Sputtering)_re
    체를 증착하는 물리적 증착방법인 sputtering을 이용해 glass plate에 금속박막을 증착시켜 보았다. 증착질량을 이용하여 스퍼터링 후 얼마나 많이 도금되었는지 확인할 수 ... 가 가장 큰 것으로 생각된다. 실험 이외에도 가스의 종류에 따른 플라즈마 색의 변화, 증착된 박막의 구조, 여러 가지 펌프와 압력계, 스퍼터링 이외의 박막증착법에 대하여도 조사를 통해 ... SputteringⅠ Abstract이번 실험은 스퍼터링에 대해 이해하고 그와 관계된 압력계, 펌프등에 관해 이해하는 실험이었다. 이 번 실험에서는 wafer에 금속 박막, 절연
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    | 리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10
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    플라즈마 공정
    에 균일하게 증착시키기 힘듬.2)스퍼터링의 종류 - 이온을 만드는 방식에 따라 분류 ▶DC 스퍼터링 - 접지로 연결한 DC 전원 공급 방식 - 장점 : 장치와 조작 간편 - 단점 ... : 고전압(가격증가), 낮은 증착속도, 높은 기판온도, X-선 방출에 의한 웨이퍼 손상, 에너지의 비효율성, 박막의 순도저하, 부도체 타겟은 사용불가 ▶ RF스퍼터링 - 부도체 ... 박막 증착시키는 방법 - 장점 : RF전원입력을 사용하여 부도체 재료를 스퍼터링 할 수 있음. 낮은 압력에서도 사용 가능 - 단점 : 생성된 막이 타겟 물질의 조성과 반드시 일치하지
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    | 리포트 | 31페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.01.16
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    ITO Glass에 대한 소개와 쓰임
    .ITO 필름의 제조● ITO 필름은 거의 대부분 PVD, 전자빔 진공증착 또는 스퍼터링법으로 표면에 흡착시켜 만든다.● 박막을 형성시키는 방법에는 크게 PVD(Physical ... Vapor Deposition)법과 CVD(Chemical Vapor Deposition)법이 있는데, 특히 PVD법은 증착, 스퍼터링, 이온플레이팅법으로 나누어지며 증착에는 저항열 ... 하고 표면의 활성화로 코팅층의 접착성이 우수하다.원리 및 과정● 이온 스퍼터링은 초기에는 진공증착과 동일한 10-5~10-7torr 정도의 진공도를 유지하나 플라즈마를 일으킬 수 있
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.14
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    TCO에 대한 기초 내용 및 현재의 기술동향, 관련 특허 조사 및 분석, 시장 및 기술동향에 대한 전망
    electively light1910)ITO 도전막, 그 증착방법 및 증착 장치2011)저주파 스퍼터링 장치를 이용하여 제조되는 투명 전극용 산화인듐주석 박막 및 그 제조방법2212)MOD법 ... 성 변화)6- ITO 증착 기술(Low temperature process, Ion Assisted method)72)- ITO 증착 장비72. 본론 : 관련 특허 조사 및 분석81 ... . 특허 순서92. 특허 분석 (총 14개)101)투명 도전막 및 그의 제조 방법, 및 그 제조에 사용되는 스퍼터링 타겟112)ＩＴＯ 소결체 및 ＩＴＯ 스퍼터링 타겟123)酸化
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    | 리포트 | 35페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.02.06
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    통신전자회로 저항의 종류와 정의, 저항띠 읽는법
    에도 널리 사용된다. 제조 방법은 세라믹 로드에 니 크롬, TiN, TaN, 니켈, 크롬 등의 합금을 진공증착, 스퍼터링등의 방법으로 필 름 형태로 부착시킨 후 홈을 파서 저항 값을 조절
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    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.04.06
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    탄소나노튜브 성장 기술
    기상증착법열분해법HIPCO화학기상증착법탄소를 포함하고 있는 탄화수소기체와 기판으로는 전이금속이 사용됨, 따라서 성장 이전에 스퍼터링이나, 기화법을 이용하여 전이금속 박막 증착 ... 3탄소나노튜브성장기술탄소 6개로 이루어진 육각형들이 서로 연결되어 관 모양을 이루고 있는 신소재탄소나노튜브 물성전기적 성질열적성질기계적성질아크방전법기술코로나 방전법레이저증착법화학 ... 합성을 위한 화학기상증착장치(보트형태)보트형태로 공간의 효율적인 사용열화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 제조방법Invar 사용550도 이하 생성Mo와 Cr 사용산성에칭액 사용Sg
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    | 리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.10
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    CIS,CIGS
    3조차례효율저하최대 6원계 화합물 복잡한 제조공정높은 격자 상수 차이양호한 접합을 위한 layer2.42 eV밴드갭높은 광투과율ZnO전극의 면적 최소화를 위한 설계동시증착법 ... 과 스퍼터링법장점단점간단한 구조 저렴한 구성대면적화의 어려움 진공장치 내부의 심각한 오염 양질의 박막 제작이 힘듬미국의 국립재생에너지연구소 19.5%의 에너지변환효율스퍼터링 기술의 모식
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 23페이지 | 15,000원 | 등록일 2010.12.22 | 수정일 2022.08.12
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    SEM 이미지의 생성 원리, charging현상과 해결 방법, OM과 SEM의 image의 차이점과 그 이유
    를 증착하는 동안에 시료를 좌우로 기울이거나 회전시킨다.? 이온빔 스퍼터링 (고진공 ~ 10-3Pa) : 코팅금속재료는 불활성가스 이온빔에 의하여 스퍼터링 되어 시료 표면에 코팅 ... 층이 두꺼운 경우에는 단면의 미세한 조직구조들이 금속 코팅층에 덮여 구분이 어렵다.? 이온 스퍼터링 (저진공 ~ 수Pa) : 시료를 코팅하기 위해 사용되는 코팅금속재료는 음극판 ... 와 스퍼터링 시간에 비례한다.? 마그네트론 스퍼터링 (저진공 ~ 수pa) : 이 장치에서는 음극과 양극이 동축으로(coaxially) 배열되어 있으며 동축의 시린더 자석은 음극 뒤
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    | 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.14
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2025년 12월 09일 화요일
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