(PPT)SIMS

소개글

SIMS란 무엇인가?
2차이온 질량분석 방법으로 표면분석을 통해

목차

1. S I M S의 원리 및 이론
2. S I M S 의 분석장치의 구성
3. SIMS의 분석 방법
4. S I M S 의 특징
5. S I M S 의 실 제 장 비

본문내용

SIMS의 원리
SIMS란 무엇인가?
2차이온 질량분석 방법으로 표면분석을 통해
표면의 정보를 얻을 수 있는 분석방법
SIMS의 원리
수~20KeV의 에너지를 가진 이온빔을 이용
표면에서 방출되는 2차 이온들을 분석하는방법

Ion source의 종류
The high frequency source
The penning source with a cold cathode
Source with electron impact
Plasmatron source
The liquid metal ion source
Gaseous field ionization ion source
The canilaritron ion gun
The saddle field source

참고 자료

한국표준연구소, Development of a quantitative analysis method Secondary Ion Mass Spectrometry, KSRI-88-62-IR, 1988년 7월
한구기초과학지원연구원, http://oms.kbsi.re.kr/driver/hak/kbsi_detail_dummy.php?equip_code=30530&equ_ecode=PA316&is_web_subscr=1
전북대학교 공동실험실습관, http://curf.chonbuk.ac.kr/sub.html?go=b005&id=458
그 외 다수