플라즈마 (plasma)

*진*
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2006.12.24
최종 저작일
2006.01
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목차

1.실험제목
2.실험목적
3.실험기구, 장비, 재료
4.실험원리
5.실험방법 :
6.실험 결과 및 고찰

본문내용

1.실험제목 : Plasma 생성원리
2.실험목적 : Plasma의 생성원리 이해하고, 조건(vacuum, gas flow)등을 바꾸어 가면서 plasma생성을 확인
3.실험기구, 장비, 재료 :
-Plasma장비 (진공펌프, 진공방전 튜브, Ar가스, 진공방전system)
4.실험원리 :
- Plasma : 플라스마(영어 : plasma)는 이온화된 기체이다. 물질의 기본적인 세가지 상태인 기체, 액체, 고체 상태와 더불어 또 하나의 상태로 여겨진다. 여기서 "이온화"되었다는 말은 어떤 물질의 구성 입자의 (충분한) 일부가 핵에서 전자가 분리된 상태로 있다는 의미다. 자유롭게 움직이는 전하들 때문에 플라스마는 높은 전기 전도성을 띄며 전자기장에 대한 매우 큰 반응성을 갖는다. 상세히 설명하면, 플라스마는 전기전도성을 가지는 전하를 띈 입자들의 집합체로, 외부 전자기장에 집합적으로 반응한다. 플라스마는 일반적으로 중성기체와 같은 집합체 또는 이온빔의 형태을 취하지만, 티끌(dust or grain)을 포함하기도 하며, 이러한 플라스마를 티끌 플라스마(Dusty plasma)라 한다. 플라즈마 상태색은 물질과 진공도에 따라 색이 다르게 나타난다.
- SCCM : SCCM은 Standard Cubic Centimeter per Minute의 약자입니다. cm^3 / min 의 의미로서
풀어서 쓰면 분당 1cc 흐르는 것을 나타내는 유량 단위입니다.비슷하게 세제곱 센티미터만 리터로 바꾸어서slm 이라는 단위도 쓰입니다.
- Torr : 압력의 단위. 기호는 Torr. 표준대기압(10만 1325dyn/㎝², 수은주 760㎜)을 760Torr로 정의한다. 토르는 대략 수은주 1㎜의 압력에 상당하며, 1.333224mbar에 해당된다.
5.실험방법 :
①Plasma장비를 켜고, 로타리 펌프를 작동시킨다(단, 모든 밸브는 잠긴상태로 시작한다.)
②Rough valve를 열어 방전관과 각각 라인마다 진공을 잡아준다.
③Ar 가스주입량을 조절하여 진공도를 변화시키면서 Plasma를 관찰한다.
④Plasma가 막 형성될때의 voltage와 색변화를 관찰한다.

참고 자료

없음
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