• 캠퍼스북
  • 파일시티 이벤트
  • LF몰 이벤트
  • 서울좀비 이벤트
  • 탑툰 이벤트
  • 닥터피엘 이벤트
  • 아이템베이 이벤트
  • 아이템매니아 이벤트

[공학]박막공정에대해

*성*
최초 등록일
2006.06.16
최종 저작일
2006.07
27페이지/파워포인트파일 MS 파워포인트
가격 2,000원 할인쿠폰받기
다운로드
장바구니

소개글

박막공정에대한. ppt자료입니다.

목차

박막공정 이란?
박막공정의 순서

본문내용

Thin Film Process

박막증착과 포토리소그래피기술을 이용하여 원하는 형상의 회로를 형성하는 일련의 과정

덩어리 재료(Bulk Material)에는 없거나 나타나기 어려운 물성을 얻기위하여 덩어리 재료인 기판위에 박막(Thin Film)을 성장시키고 이용

세척(Cleaning)=> 증착(Deposition)=>
포토리소그래피(Photolithography)=>
식각(Etching)


세척(Cleaning)
*증착과정에서 매우 미세하고 일정한 두께로 공정된 기판에 이물질이 남을 경우 부식이 발생하게 된다
*철저한 세척을 통해 부식 억제
*세척의 종류
유기 세척
무기 세척

증착(Deposition)
증착을 하고자 하는 물질을 수십~수천 나노 두께로 특정기판 상에 올리는 과정
크게 물리적 방식을 이용하는 PVD와 화학적 방식인 CVD로 나눌 수 있다

Physical Vapor Deposition, PVD
*기판 표면에서 Particle의 결합력의 변형이나 재배열등 물리적인 단계에 의해 이루어지는 증착과정
장점: 증착하고자 하는 물질의 조성범위의 제약이 없다
*어떠한 Metal, Alloy, Compound 등 증착 가능
-PVD의 가장 큰 장점
*증착된 물질의 고순도성
친환경적인 공정
단점: 복잡한 장비 구성, 고비용

증발 증착법
고진공상태에서(오염을 줄이기 위해) 전기저항이나 전자빔등을 이용해서 기판에 증착시키고자 하는 물질의 소스를 가열 고체상태로 부터 기체상태로 증발을 시켜 증착하는 방법
고체 덩어리에 붙어있던 원자가 외부로 부터 열에너지를 공급받아 기체 상태 원자로 탈출하게 된다. 이 원자를 기판위에 증착시킨다

참고 자료

없음
*성*
판매자 유형Bronze개인

주의사항

저작권 자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.
환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

  • 한글파일 반도체 박막 증착 공정의 분류 보고서 (3P) 3페이지
    대해 알아보고자 한다. ... 분류” 000 000공학 000 현대사회의 대다수에 사람들이 활용하는 휴대전화를 ... 5) 박막 증착 공정(이온주입) ?6) 금속 배선 공정 ?
  • 워드파일 A+ 박막의 패터닝 실험 예비보고서 6페이지
    F) 박막의 식각 및 증착 공정에 활용되고 있다 G) 화학공학전공자가 반도체 ... 이러한 공정 가운데 중요한 공정박막의 식각공정으로, 마스크로 패턴된 박막을 ... 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다. 3.
  • 한글파일 소재공정실험 핵심 주제 요약본 3페이지
    2개(종류나 특징) 비교하기 최대한 공부하기 실험에서 했던거 공부 7) 박막공학 ... 영상 보기(8대 공정) 재료에서 가장 중요한 공정에 대하여 공부 6) 포토레지스트 ... 대한 원리가 가장 중요하다.
  • 한글파일 숭실대 Metal strain sensor 제작 및 성능 분석 예비레포트 4페이지
    즉, 변형률에 대한 전기 저항 변화의 비율을 말하는 것이다. ... sensor 제작 및 성능 분석 -예비보고서- 숭실대학교 유기신소재파이버공학과 ... 과목명 신소재공학실험2(나) 조 반 조원 지도교수 담당조교 학번 제출일
  • 한글파일 숭실대 Metal strain sensor 제작 및 성능 분석 결과레포트 4페이지
    Photo resist에 따른 lift-off 공정 변수에 대해 이해할 수 ... wafer 위에 PR(AZ 5260)을 도포한 뒤, Spin coater로 박막 ... sensor 제작 및 성능 분석 -결과보고서- 숭실대학교 유기신소재파이버공학
더보기
최근 본 자료더보기
  • 프레시홍 - 전복
탑툰 이벤트
[공학]박막공정에대해
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업