[현미경]주사전자현미경

소개글

SEM(주사전자현미경)과 거기에서 쓰이는 전자들의 종류와 특성, 분석방법에 따른 분석기기를 조사한 리포트.

목차

* 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)이란
* SE와 BSE
* X-ray Spectroscopy
*EDS의 특징 정리

본문내용

* 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)이란
주사전자현미경은 전자빔을 시료 표면에 조사하여 튀어나오는 전자를 이용하여 관찰 하는 현미경을 말한다. 가속된 전자빔을 시료에 주사하면 입사된 전자빔이 시료표면에서 탄성 및 비탄성 충돌을 일으키며 여러 가지 가지 정보를 가진 물질(Secondary Electron, Back Scattered Electron, X-ray, Photon, Auger 등)을 방출시킨다. 이중에서 Secondary Electron이나 Back Scattered Electron을 전자 검출기로 검출하여 CRT 스크린으로 영상화한 것이 주사전자현미경이다. 보통 가속 전자빔의 주사(Scanning)와 동시에 검출된 Secondary Electron이나 Back Scattered Electron을 전자 검출기로 검출하여 CRT에 영상화 함으로써 실시간 관찰이 가능하다. 주사전자현미경은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 50Å정도의 해상력을 지닌 것이 상품화되어 있고, 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 10Å이하의 해상력을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다.

* SE와 BSE
-SE (Secondary Electron) :전자선이 시료 표면에 부딪혀 시료로부터 새롭게 방출되는 전
자.
-BSE (Back Scattered Electron) :시료 표면에 충돌한 후 산란되어 되돌아오는 후방산란
전자.

참고 자료

없음