조선대 나노공정-리소그래피란 무엇이고, 반도체 공정에서 리소그래피는 어떻게 발전하였는가

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본문내용

리소그래피란 고대 그리스의 석판화 기술이라는 것을 의미합니다. 석판 인쇄기의 석판이라는 것은 원래 돌로 만든 원판에 잉크를 묻힌 다음에 종이에 찍는 기술입니다.
즉, 리소그래피라는 어원 자체가 의미하는 것은 원래 가지고 있었던 패턴들을 계속 만들어내는 것을 의미합니다. 이러한 리소그래피에서 비롯된 포토리소그래피는 웨이퍼의 패턴을 만든다는 것인데 광을 뜻하는 ‘포토’라는 단어를 붙여 포토리소그래피라고 부르게 됩니다. 쉽게 말해 광을 이용해서 리소그래피를 하는 기술을 의미합니다.

현대에 사용하는 포토리소그래피는 포토마스크라는 석판화로 이야기하면 그 원판의 패턴 영상을 그대로 웨이퍼에 옮겨서 원하는 모양을 정밀하게 재현하는 기술입니다. 포토리소그래피의 발전이 미세 패턴 만들기의 필수 요소입니다. 복잡한 현상 구분을 위한 핵심 기술이며 단위층을 원하는 형태로 패터닝 할 수 있습니다.

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