Atomic Force Microscope 예비보고서

소개글

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목차

1. 실험 제목
2. 실험 날짜
3. 실험 목적
4. 실험 원리
5. 참고문헌

본문내용

3. 실험 목적: SPM(Scanning Probe Microscope)의 종류인 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 시료의 물성을 조사해보고 AFM과 STM을 비교해 본다.

4. 실험 원리
가. Scanning Probe Microscope (SPM)
SPM이란 원자나 분자 크기의 극 미세 나노 세계에서 일어나는 물질의 구조와 성질을 알고, 이를 제어하고 조작하기 위해 개발되고 발전되어 왔으며 micro 단위의 미세 탐침(probe)를 사용하여 sample의 표면을 측정하는 기기이다. 대표적으로는 STM과 AFM이 있는데, 먼저 STM은 최초로 개발된 주사 탐침 현미경으로 시료와 탐침이 근접할 때 둘 사이에 흐르는 tunnel 전류를 이용하여 시료표면을 형상화하는 방식으로 sample을 측정한다. 그러나 샘플과 탐침 사이에 전기가 통하지 않으면 측정할 수 없고 측정 시 주위 환경에 민감하여 대기중에서는 측정을 하지 못한다는 한계가 있다. 이러한 STM의 단점을 보안한 것이 AFM인데, AFM은 전기가 통하지 않는 부도체뿐만 아니라 도체, 반도체 모두 측정할 수 있으며, 대기 중에서도 시료의 측정이 가능하다

참고 자료

패터닝에 관한 연구, 조선대학교 첨단부품소