ESC(정전척) 시장조사, 시장조사 ppt, 시장조사 발표자료

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2020.11.01
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2017.04
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목차

1. ESC 소개

2. 공정 순서 및 원리
1) 기판흡착원리
2) 하부전극
3) Sealing

3. Repair 공정

4. TM0502 고객사

5. 영업가능 고객사

6. 개선 과제

본문내용

다수의 반도체 및 LCD, OLED 공정 과정 진행 중에 정전기적 힘을 이용하여 Wafer & 피식각기재(LCD, OLED)를 고정시켜주는 역할

- 반도체용 ESC
각종 반도체 장비 용 ESC
반도체 제조 장치 중 plasma 처리 장치 내부에서 기판 지지 용/ 제품에 따라 무 Sealing 제품 존재

- LCD, OLED용 ESC(하부전극)
유리기판 위 회로 설계된 부분 외 DryEtcher(건식식각장비)로 식각할 때 유리 기판 지지 용/ 건식식각 장비의 핵심 부품

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