고분자재료및실험 스핀코팅 실험보고서 신소재공학과

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목차

1. 실험목적
2. 실험이론
3. 실험과정
4.실험결과 및 고찰
5.REFERENCE

본문내용

1. 실험목적
고분자 분자량과 용해도를 이해한다. 고분자막을 형성하는 스핀코팅법을 익히고, 두께를 조절하는 변수에 대해 설계할 수 있다.

2.실험이론
* 스핀코팅 : 코팅할 물질의 용액이나 액체 물질을 기질 위에 떨어뜨리고 고속으로 회전시켜 얇게 퍼지게 하는 코팅 방식법. 필요한 두께의 감광막을 웨이퍼 전체에 균일하게 형성한다. 전자 제품 소자의 제조에 많이 사용한다.

- 두께와 균일성에 영향을 주는 요인들
ⓐ 점성계수
ⓑ 다중체 함량
ⓒ 최종 스핀속도와 가속(rpm)

<중 략>

4.실험결과 및 고찰
3조는 Mid & Low 의 2가지 PMMA와 클로로포름을 용매로 선택하였다. 각 PMMA의 무게를 측정하고 용매의 양을 조절하여 무게비를 1wt%를 동일하게 하였다. 고분자의 분자량이 실험결과에 미치는 영향을 살펴보기 위함이었다. 용액을 형성하기 위해 20G의 주사기를 사용하여 용매 추출을 시도하였으나 잘 뽑아지지 않아 18G의 주사기를 사용하였다. 이에따라 용매의 양을 정확히 조절하는데 실패하여, 이로 인한 영향을 고려하며 실험을 진행하였다.

참고 자료

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http://blog.younginfrontier.com/?p=13499
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http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=yuny0702&logNo=220501050102&parentCategoryNo=&categoryNo=1&viewDate=&isShowPopularPosts=true&from=search
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