Thermal Evaporator 장비 Manual

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본문내용

Thermal Evaporator – PR 패턴을 다 뜨고 난 후 그 위에 전극을 올리기 위해 사용

1. 전원 및 냉각수 준비
밸브를 조금 열어 물이 노란 파이프(배수구) 쪽으로 나가는지 확인
장비 안쪽의 브레이크를 켜고 (배전반) 전원 스위치 작동

2. 디퓨전 펌프가 예열이 되는 동안 포라인 밸브를 열고 로터리 펌프를 켜놓음
디퓨전 펌프가 예열이 되면 디퓨전 전원 ON

3. 챔버를 대기압 상태로 유지
벤트 밸브를 반시계 방향으로 열어 공기를 집어넣음

4. 챔버 뚜껑 열기
뚜껑이 무거움으로 걸림쇠 부분까지 천천히 내림(유리로 된 이온게이지 깨짐 주의)

5. 셔터를 열고 텅스텐 부분에 Metal을 올려준 뒤 셔터를 닫음

6. PR 패턴을 뜬 웨이퍼를 챔버 뚜껑에 고정 후 뚜껑 닫음
진공 테이프를 웨이퍼 끝부분에 부착하여 고정시킴

참고 자료

없음