[반도체공정과제] 에러함수의 특성

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오차 함수(誤差函數, error function)는 확률론, 통계학, 편미분 방정식 등에서 사용하는 비초등 함수이다. 가우스 오차 함수라고도 하며 다음과 같이 정의한다.

< 중 략 >

Fick의 확산 제 2법칙에 쓰이는 식은 여오차 함수이다. 제1법칙은 여오차 함수가 들어가지 않아 선형(linear)이고, 현실에서는 적합하지 않은 법칙이다. 제2법칙은 현실적으로 기판에 불순물이 확산할 때 깊이에 따라 불순물의 농도가 얼마나 분포하는지 나타내는 함수로 식으로 나타내면 다음과 같다.

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