Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 및 시료 특성 분석 결과보고서

소개글

신소재공학부 재료공학실험 박막증착 실험 결과보고서입니다. (고려대)
해당과목 에이플 받았습니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험장치 및 방법
3. 실험과정(상세하게 설명되어 있습니다~!)
4. 실험결과 및 분석/토의(박막두께 구하기, 저항값이 왜 이렇게 나타나는지 등)
5. 실험을 활용한 어플리케이션 조사

본문내용

1. 실험 목적
여러 가지 진공펌프와 박막 증착방법에 대해 사전조사하여 진공펌프의 구조 및 원리에 대해 이해하고 박막증착방법의 과정과 각 방법의 장단점에 대해 이해한다. 그리고 진공증착 장비를 사용하여 박막증착 실험을 수행하고 이를 통해 진공 및 진공장비의 원리를 이해한다. 또한 박막의 제조와 분석을 통해서 박막의 원리(Ohmic contact형성)와 역할에 대해 이해한다.

2. 실험 장치 및 방법:
실험 장비 및 증착방법에 대한 설명: 이번 실험에서 사용한 장비는 Vacuum evaporator system(진공증발장치)이며 위의 그림과 같이 생겼다. 로터리 펌프(저진공 펌프/1차펌프), 이온 확산 펌프(고진공 펌프/2차 펌프), foreline velve, roughing velve, ion gauge 등으로 구성되어있다. 본 실험에서는 PVD, CVD, ALD등 3가지 증착 방법중에서도 PVD(Physical Vapor Deposition)을 이용하였다. 본 증착법은 이름처럼 물리적인 반응을 이용해서 기체를 증착하는 방식이다.

<중 략>

4. 실험을 활용한 어플리케이션 조사
본 실험에서는 PVD 방식을 이용하여 박막을 증착하였다. PVD는 본 실험에서와 유사하게 반도체 박막위에 금속 박막을 형성해 오믹 컨택을 만드는데 사용이 되기도 하며 다른 분야에서도 사용이 되고 있다.

첫 번째 응용분야로는 컬러코팅이 있다. 이는 휴대용 IT 제품에 다양한 색상을 구현하기 위해서 활용되고 있다. 휴대용 전자 제품에 PVD코팅을 활용해서 높은 경도의 박막을 금속이나 플라스틱 기판위에 증착하여 표면경도를 증가시켜서 내구성을 향상시키는 방법으로 활용되고 있다. 또한 질화물 계열을 활용하며 노랑, 파랑, 검정, 빨강들의 다양한 색상 구현이 가능해서 제품의 디자인 향상에 응용이 되고 있다. PVD 칼라 코팅 기술의 경우, 피복 물질의 종류와 피복 두께가 중요한 역할을 한다.

참고 자료

줌달의 일반화학 제9판/재료공학실험3 교안/김동환 교수님 반도체재료 수업자료
이건환, 이성훈, 박상언, 이종하 (2009). PVD법을 이용한 칼라코팅 기술. 한국표면공학회 학술발표회 초록집, 104-104
김종성 (2001). 금속 절삭공구에 대한 PVD 코팅기술의 동향. 한국정밀공학회지, 18(8), 11-17
https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=854664&cid=42346&categoryId=42346
https://blog.naver.com/hon8249/221410668671
https://blog.naver.com/richard2828/220776348036
https://blog.naver.com/gosimon/220967740666