반도체 및 고분자 실험 반도체/ 실리콘 웨이퍼 실험과정과 멀티미터 측정 결과 A 받은 레포트

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2019.02.28
최종 저작일
2017.01
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목차

1.제작한 저항 패턴의 저항 측정 - 제작한 저항 패턴의 저항 값을 multimeter 로 측정하시오.
(1) 전체 실험과정을 적으시오. (Write down the whole experimental procedure)
1) 실험 목적
2) 실험 도구
3) 실험 과정
(2) 측정한 저항들과 설계 값을 비교하시오. 처음에 설계한 값과 차이를 확인하고, 차이가 난다면 무엇 때문인지 정확히 설명하시오. (Compare the measured values with the designed values, If there is difference, what causes it ?)
(3) 면저항과 Resistivity를 측정값으로부터 계산하시오. (Calculate the sheet resistance and resistivity from the measured value)

2.온도에 따른 반도체, 금속의 저항특성 평가
(1) 전체 실험과정을 적으시오. (Write down the whole experimental procedure )
(2) 온도를 상온, 50도, 80도, 100도, 120도, 150도, 180도, 200도로 올리면서 저항의 변화를 측정한 값을 표시하오. (Record the resistance value while increasing the sample temperature from RT, to 50, 80, 100, 120, 150, 180, and 200deg).
(3) 금속과 반도체의 온도특성이 다른지 확인하고, 그 이유를 설명하시오. (Explain the difference of resistivity behavior of metal and semiconductor depending on the temperature)
(4) 금속과 반도체의 차이가 무엇인지 설명하시오. (What is the difference of metal and semicodnuctor)

본문내용

1.제작한 저항 패턴의 저항 측정
- 제작한 저항 패턴의 저항 값을 multimeter 로 측정하시오.
(1) 전체 실험과정을 적으시오. (Write down the whole experimental procedure)

1)실험 목적
웨이퍼위에 증착된 물질의 면저항을 측정한다.

2)실험 도구
실리콘웨이퍼: 실리콘으로 만들어진 실리콘 웨이퍼는 넓은 energy band gap(1.2ev)를 가지고 있기 때문에 비교적 고온(200)에서도 소자가 동작할 수 있는 장점이 있다. 또한 si-oxide 웨이퍼를 사용하면 실리콘위에 Ti를 입히면 실리콘에 전류가 통하게 되어 Ti만의 저항 값을 알 수가 있다.

실버페이스트: 도전성 필러로 은분을 바인더로는 아크릴계의 수지를 사용한 상온건조형, 일액형의 전도성 됴로이다. 용제가 휘발하는 것만으로 도막이 형성되기 떄문에 빠르고 또한 은 함유량이 높아 상당히 낮은 저항치를 간단히 얻을 수 있다.

멀티미터: 멀티미터는 전자계측기로서 기본적인 물리량 (전류, 전압, 저항 등)들을 손쉽게 측정할 수 있도록 고안된 장치이다. 물리량을 측정하는 방법에 따라 아날로그와 디지털 형으로 구분된다. 아날로그형 멀티미터는 가동코일형 지침을 이용하여 측정된 값을 연속적으로 표시할 수 있는 반면, 디지털형 멀티미터는 액정디스플레이를 이용하여 측정된 결과를 불연속 적인 값으로 나타낸다. 본 실험에서는 디지털 멀티미터를 사용했으며, 멀티 미터에 연결되어 있는 빨간색과 검정색 탐침 (test probe)은 측정 시 (±)극의 혼동을 피하기 위하여 반드시 (+)와 (-) 단자에 연결해야만 한다.

핫플레이트: 주철이나 코팅열판 아래에서 코일형태의 전열선을 가열하는 방식으로 속도가 느리고 잔열로 인한 화상주의가 있으나 사용법이 간단하다는 장점이 있다.

3)실험 과정
ⓛ 실버페이스트 A와 P를 1.5:1 비율로 잘 섞는다. 실버페이스트는 전도성 접착제이면서 접촉저항을 줄이기 위해 사용하는데, 실버만 있으면 무르기 때문에 경화제를 섞어 주는 것이다.

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