스핀코터를 이용한 필름 제조 설계와 변수들의 영향 분석

소개글

- 스핀 코터에 대한 유체역학적 거동을 이해한다.

- 코팅 층의 두께를 코팅 액의 점도와 유입량 및 코터의 회전속도의 함수로 나타낸다.

- 여러 조건(코팅액의 유입량, 점도, 회전속도 등) 변화에 대한 영향을 분석한다.

*이해를 돕기위해 다양한 도형과 표, 그래프가 사용되었습니다.
**장황한 설명은 배제하고, 분류/구분하는 방식으로 설명하여 깔끔하게 정리하였습니다.
***설계에 사용된 계산 식도 생략없이 설명하였습니다.

목차

1. 설계 목적
2. 스핀 코터의 원리와 이용
3. 막 제조 설계_설계 과정/Control Volume 설정/가정 설정/Momentum Balance/속도 분포식/평균속도/질량유속, 코팅 막 두께
4. 결과 및 분석_설계 변수의 영향
5. 결론

본문내용

1. 설계 목적
1 Spin Coating의 유체역학적 원리 이해
2 막 제조를 위한 Momentum Balance
3 설계변수들의 영향 분석

2. Spin Coater의 원리와 이용
Spin Coater ?
기판를 회전시켜 생기는 원심력으로 기판 위에 올려진 액체를 밖으로 밀려나게 하여 기판에 액체를 코팅하는 장치이다.

1단계 (Deposition) - 액체가 정지하거나 천천히 돌고 있는 기판 위에 옮겨진다.
2단계 (Spin-up) – 액체가 회전하는 기판에 의해서 발생하는 원심력으로 바깥쪽으로 퍼져 나간다.
3단계 (Spin-off) - 과량의 액체가 기판 주변으로 흐르고 막의 두께가 얇아짐에 따라 저항이 커져서 액체의 흐름이 느려진다.
단계 (Evaporation) – 증발에 의해서 막의 두께가 얇아진다.

참고 자료

없음