반도체 공정 실험2 레포트

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최초 등록일
2018.06.18
최종 저작일
2017.09
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목차

1. 웨이퍼 자르기
2. PEDOT:PSS 합성
3. cleaning pocess
4. Oxide제거
5. PEDOT:PSS 증착
6. Baking porcess
7. 전극형성
8. 측정
9.고찰

본문내용

1. 웨이퍼 자르기
N type 웨이퍼를 집게로 집어서 다이아몬드 칼로 가로5 x 세로4 로 짜른다. 양쪽 사이드 자르고 2x2 자르고 다시 1x1으로 자른다.

2. PEDOT:PSS 합성
PEDOT:PSS합성 실험과정
1. 처음 공병에 스핀 바를 투입 한다. 스핀 바를 넣는 이유는 적은 양의 시료를 혼합하기 하기 위해 쓰는 것이다.(이번 실험에서는 DMSO를 넣은 뒤 투입했다.)
2. PEDOT용액을 주사기로 9.5mL를 흡입(주사기에 공기가 찰 수 있기에 조심한다.)을 한 뒤, 스핀 바가 들어있는 공병에 조심스럽게 투여 한다.
3. DMSO(Dimethyl sulfoxide)를 2mL 투여한다. DMSO를 투여하는 이유는 극성이 강하여 물과 PEDOT용액과 잘 혼합됨으로 PEDOT용액을 반응용매로 하는 유기반응에서 쉽게 혼합시키기에 사용한다.
4. 주사기 바늘을 이용해 계면활성제를 한 방울 투여한다. 계면활성제는 합성된 PEDOT:PSS가 유기물이기 때문에, N타입을 만들기 위해 전기 전도성 및 응집력을 높이는 역할을 한다.

참고 자료

없음
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