7. ITO patterning(예비)

최초 등록일
2016.04.06
최종 저작일
2015.03
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목차

1. 실험제목
2. 실험조 및 실험자
3. 실험목적
4. 실험이론 및 배경
5. 장치 및 시약
6. 실험방법
7. 참고문헌
8. MSDS

본문내용

3.실험목적
◦ OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다.
◦Photo lithography에 사용하는 각 공정의 원리와 공정 시 주의점을 습득한다.

4.실험이론 및 배경
저분자 혹은 고분자물질을 적용한 모든 유기발광 다이오드(OLED, PLED), 유기태양전지(OPV), 유기 박막트랜지스터(OTFT)소자들은 상업적으로 용이하게 구할 수 있는 ITO가 Coating된 유리기판을 사용하고 있다. 유기EL 소자 내에서의 전체적인 발광영역은 대략 100 nm 정도 두께의 유기물 층에 한정되는데 이러한 박막구조 상에서는 ITO의 Coating이 표면 균일도나 유기층과의 접촉특성이 소자의 발광 특성에 커다란 영향을 미치게 된다. 따라서 ITO pattering전 전처리 공정을 통하여 표면을 개질시켜 주어야 한다.
이 과정이 끝나면 photoresist(PR)를 roll coater 또는 spin coater를 사용하여 ITO 전면에 균일하게 도포 한다.

<중 략>

●패터닝 공정
1) 단결정 성장
고순도로 정제된 실리콘용 융액에 속도를 가하여 회전시키면 단결정 규소봉(INGOT)을 성장시킨다.(회전을 시키면 규소봉이 점차 자라나는 형태로 보이기 때문에 "성장" 이라는 단어를 사용한다.)
2) 규소봉 절단
성장된 규소봉을 균일한 두께의 얇은 웨이퍼로 절단한다. 우리가 흔히 말하는 몇 인치 웨이퍼라는 말은 절단되는 규소봉의 구경에 따라 3", 4", 6", 8"로 만들어지며 생산성 향상을 위해 점점 대구경화 경향을 보인다.
3) 웨이퍼 표면연마
웨이퍼의 한쪽면을 연마하여 거울면처럼 만들어주며, 이 연마된면에 회로 패턴을 그려 넣는다.
4) 회로설계
CAD시스템을 사용하여 전자회로와 실제 웨이퍼 위에 그려질 회로패턴을 설계한다.
5) 마스크 제작
설계된 회로패턴을 E-beam 설비로 유리판 위에 그려 MASK 를 만든다. Photo Mask라고도 하는데 사진용 원판의 구실을 한다.. 현상 공정에서 마스크를 Wafer위에 얹은 다음 강한 자외선을 비추면 유리 위에 그려진 회로가 Wafer에도 똑같이 그려진다.(사진의 현상과 비슷)

참고 자료

http://www.gursung.com/cont/2/5.php
http://www.drlitho.com/html/pages/en_research_resists.html
http://www.nature.com/am/journal/v4/n2/fig_tab/am201212f1.html
https://www.google.co.kr/url?sa=i&rct=j&q=&esrc=s&source=images&cd=&ved=0CAUQjhxqFQoTCKrQ1ovem8kCFcSPlAodofwNhQ&url=http%3A%2F%2Fseas.yale.edu%2Fnews-events%2Fnews%2Fnew-method-patterning-semiconductor-oxides-suited-nonplanar-surfaces-0&psig=AFQjCNFCaT5VTDuEaJgpItMiDErNTdQTtQ&ust=1447996653297209
https://en.wikipedia.org/wiki/Photoresist
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=869630&cid=42388&categoryId=42388
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1605001&cid=50324&categoryId=50324
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=864802&cid=42346&categoryId=42346
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=2280166&cid=42419&categoryId=42419
http://www.uvsmt.com/sub/sub03_nokwang_01.php
http://www.gursung.com/cont/2/5.php
http://infochem.hanyang.ac.kr/researches/researches_pr_korean.html
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=869987&cid=42388&categoryId=42388
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=2301006&cid=42419&categoryId=42419

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