[A+ 결과레포트]화학공학실험-Micro-scale patterning

목차

1. Title
2. Result
3. Discussion

본문내용

이번 실험에서는 한번의 실수로 인해 부득이하게 세번 실험을 진행하였고 마지막 세번째 과정에서는 hard baking 단계를 추가해서 결과를 관찰하였다.
위에 figure에서 보이듯이 developer에 넣기 전에는 '7번' 이라는 우리가 설정한 글자가 보였는데 developer에 놓고 난 뒤에는 너무 오래 넣고 있어서 다 사라졌음을 관찰 할 수 있었다.

<중 략>

잘 닦음 glass위어 spin-coating을 이용하여 photoresist의 역할로 사용한 PR-AZ, GXR-601을 코팅한다. 이 photoresist는 빛에 의하여 반응하는 물질로 이 성질 덕분에 mask를 쒸워 빛을 쪼이는 단계를 통해 글씨를 얻어낼 수 있게 된다.

참고 자료

없음