thermal ebeam evaporator 증착조사

목차

없음

본문내용

열 증착법 (Thermal evaporation) = 진공증착
증착이라고 부르는 현상은 기체상태로 증발 된 원자나 분자 혹은 입자가 낮은 온도의 다른 물체를 만나 표면에 다시 고체상태로 응축되는 현상을 말한다.
이 증착을 진공상태에서 일으키기 때문에 진공증착이라고 부른다.
열 증착법은 진공중에서 박막을 만들려는 물질을 가열하여 증발시켜 증기를 적당한 면 위에 부착시키는 방법으로서 열교환 과정을 사용한다.
예시로 들어 설명하면 가정에서 사용하는 백열전구가 오래되면 필라멘트와 가까운 전구의 유리벽이 검게 변하는 현상을 볼 수 있으며 수명이 다해 필라멘트가 끊어진 전구는 특히 그렇다. 이것은 전구나 형광등 내의 필라멘트가 가열되어 필라멘트의 원자나 입자가 증발하고, 그증발된 원자가 유리벽까지 날아가서 달라붙은 증거물이다. 이러한 현상들이 우리 주변에서 흔히 일어나고 있다.

참고 자료

evaporation
http://marriott.tistory.com/73
http://www.sunmoon.ac.kr/%7Esdc/pds/pds_processing.htm
http://imal.cnu.ac.kr/html/course/nano
http://www.kemco.or.kr/up_load/blog/진공증착.pdf
http://web.skku.edu/%7Ematerial/publication/note.hwp
http://nova4.skku.ac.kr/