32PVD(evaporation)

소개글

공학 레포트

목차

Ch 1. Deposition
Ch 2. Thermal Evaporation
Ch 3. E-beam Evaporation
Ch 4. PVD

본문내용

E-beam Evaporation
Ch 3.
도가니에 녹이고자 하는 물질을 넣는다
필라멘트가 가열되면서 전자 빔 방출
전자 빔이 도가니의 물질 녹임
도가니의 물질이 증착
(도가니는 냉각수로 냉각)

E-beam Evaporation
Ch 3.
전자 빔을 사용하여 증발체를 국부 가열한다
증착물질만 가열하고 도가니는 냉각수로 냉각되어 오염을 통제할수 있다
녹는점이 높은 물질에도 사용이 가능하다
화합물 , 합금 , 증발이 어려운 물질등에 이용할 수 있고 , 반응성이 높은 원소에도
사용 가능
진공계 내부가 가열되기 어려움
전자빔 조사때 의한 X선의 발생으로 손상을 입을수 있다

참고 자료

없음