반도체물성실험_alpha_step

최초 등록일
2010.11.21
최종 저작일
2010.11
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반도체물성실험_alpha_step 레포트 입니다.

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목차

1. What is the main principle of the Alpha - step ?
2. Determine the thickness of your sample using alpha-step. Attach your measurement data.
3. Discuss the procedure the measurement using alpha-step.

본문내용

1. What is the main principle of the Alpha - step ?
- Waffer 표면 위의 단 차가 있는 박막의 두께(수 Å 이상) 및 Step profile을 측정하기 위하여 개발한 장비로, 탐침(stylus)이 Waffer 표면을 긁고(scan) 지나감으로써 표면 단자의 변화를 발생하는 압력을 감지하여 그 단차의 두께를 측정하는 장비이다.
보통 10㎛~50㎛ 정도의 반지름을 가지는 다이아몬드 바늘 Stylus가 사용되며, Stylus의 힘은 보통 17.3㎎ 정도로 고정하여 사용하고 있다. 측정하고자 하는 Sample을 직접 Contact하므로, 유기막은 물론 금속 박막의 두께도 쉽게 구할 수 있다.
하지만, 단차의 두께만을 구할 수 있으므로, 여러 측의 두께 각각을 한번에 측정할 수 없으며, 측정하고자 하는 곳에 미리 단차를 만들어 놓아야 하는 불편함이 있다.

참고 자료

없음

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