[반도체] si 반도체

최초 등록일
2002.05.31
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2002.05
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목차

1. 반도체 기판으로 사용되는 재료와 실리콘이 많이 사용되는 이유?

2. Si-Wafer는 단결정을 사용한다. 그 이유는?

본문내용

기판으로 Si를 사용할 경우의 장점
① Si 전자소자를 집적할 수 있고,
② Si 산화막을 도파로 바닥 층으로 이용할 수 있고,
③ 광회로 칩에 광섬유를 부착할 때 또는 다른 광소자들을 광회로 칩에 hybrid 집적할 때 Si의 비등방성 V-groove 식각을 이용한 정밀 가공을 할 수 있다.
④ 광회로 칩에 반도체레이저를 Hybrid 패키징 할 때 열전도가 큰 Si를 heat sink로 쓸 수 있다.
⑤ Si는 저렴하고 고품질이고 결정성 기판으로 고온공정이 가능하다.

참고 자료

없음

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