표면저항

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2010.05.11
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2010.05
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표면저항 측정

표면저항이란?

표면저항 측정장비

표면저항 실험 방법

표면저항 실험 결과

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표면저항 측정

표면저항이란?

표면저항 측정장비

표면저항 실험 방법

표면저항 실험 결과

본문내용

표면저항
( Surface resistance of a material , Rs , ohms per square )
표면저항 ρs 는 정사각형인 물질의 저항 R 을 측정한 것이며, 보통 상대적으로 큰 BASE 물질의 표면에 있는 얇은 전도성 물질의 층에 대한 저항의 측정이다. 그러나 체적저항 물질에도 적용할 수 있다. ρs 는 ohms per square 의 단위를 가지며 물질의 표면 양단에서 측정한다. ρs 는 정사각형의 물질에 대한 체적저항 결정시 사용되는 측정 저항치 R 과 등가이다. ρs = R (시료의 면적이 정사각형인 경우) 두개의 저항 Parameter 중에서 표면저항은 주어진 물질에서 실제 자재저항의 측정치이기 때문에 좀더 저항의 Parameter를 나타내는데 적합하다고 할 수 있다. 그림 1-5 는 표면저항 측정법을 나타낸 것이다.

그림 (1) Measurement Method of Surface Resistance
그림에서 보는 바와 같이 전도성 금속 BUS BAR 가 플라스틱에 연결되어 있고 BUS BAR 는 OHM METER 에 연결되어 있다. 여기서 유의할 사항은 다음과 같다. <1> 이 BUS BAR 의 위치와 크기가 나타나야 한다. <2> "X" 와 "Y" 의 크기는




[Four point probe]
Four point probe는 4-point probe, 4 probe head, 4PP, FPP, 4탐침 등으로 불리웁니다.
탐침이 4개가 달린 표면저항측정용으로 사용하는 probe를 일컫는 말입니다. 보통은 1mm간격으로 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨것을 이용합니다. 이외에 탐침을 정방형으로 나열시킨 Squre type의 Hall probe와 고온까지 견딜 수 있도록 특수제작된 고온용Probe가 있습니다.
현재 표면저항측정기를 생산하고 있는 국내외의 대표적인 회사들 상당수가 JANDEL社와
KNS社의 Probe Head를 채용하고 있는데, 고가이지만 내구성과 안정성을 인정받고 있습니다
[Four point probe system의 검교정]
최근 정밀하고 정확한 측정Data를 유지하기 위한 계측기 검교정이 상당히 중요시 되고 있습니다. Four point probe system은 일반적이고 보편화된 계측기가 아니기 때문에 검교정 할 수 있는 국내기관은 극히 드물고, 검정만 KRISS(한국표준과학연구원)에서 행하고 있습니다. 때문에 교정은 각 제조사에서 시행할 수 밖에 없는 상황입니다.
8" Wafer용 표면저항측정기 CMT-SR2000
CMT-SR2000N은 SR1000N의 기능인 단독운영은 물론, PC와 전용S/W를 이용하여 정확한 보정계수를 적용하여, 최대8”wafer의 표면저항(Ohm/sq)을 자동으로 이동하며 측정하고, 2D 또는 3D로 측정결과분석이 가능한

참고 자료

없음

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