박막 형 가스 센서에 있어서 가스 감지 속도에 대한 막 두께의 영향

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최초 등록일
2016.04.02
최종 저작일
1996.07
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서지정보

ㆍ발행기관 : 한국재료학회 ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 6권 / 7호
ㆍ저자명 : 유도준, 준 타마키, 노리오 미우라, 노보루 야마조에, 박순자

한국어 초록

박막 형 가스 센서의 막 두께가 가스 감지 특성에 미치는 영향을 단순화된 모델로부터 수식으로 유도하여 해석하였고, 그것을 SnO2와 CuO-SnO2 박막의 h2S 감응 특성에 대한 실험 결과에 적용하였다. 유도된 수식으로부터 박막 가스 센서의 가스 감지 특성은 가스의 박막 안으로의 확산성에 크게 의존하며, 그 가스 확산성은 박막의 두께, 가스의 센서 재료의 반응성, 작동 온도 등에 의해서 결정됨을 알 수 있었다. 또한 이 수식은 CuO-SnO2 박막의 h2S 감응 특성에 대한 실험 결과와 비교적 잘 일치하였고, CuO-SnO2 박막과 SnO2 박막의 서로 판이한 h2S 감응 특성에 대한 설명에 적용되었다. 이로부터, 일반적인 산화물 반도체식 가스 센서의 가스 감지 특성이 가스 확산성에 의해서 어떻게 지배되는가를 구체적으로 제안하였다.

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