[성균관대][전자재료실험][A+] 전자재료실험 최종발표 ppt 자료입니다. 많은 도움 되었으면 좋겠습니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험이론
3. 실험과정
4. 분석목적
5. 분석방법
6. 결과예상
7. 참고자료

본문내용

* 실험 목적
MOS Capacitor의 공정을 이해한다.
변수(Oxide의 두께, 전극의 종류)에 따른 전기적 특성을 I-V, C-V 그래프를 통하여 확인한다.

* 실험 이론
Capacitor 란?
- 전기장에 에너지를 저장하는 장치
- 두 개의 전도된 판 사이에 절연체가 들어가있는 구조

MOS Capacitor 란?
- MOS의 구조는 반도체 기판위에 로 된 절연층과 금속층을 쌓는다.
- 평행판 축전기의 두 금속 전극 중에서 하나를 반도체로 대체한 것과 같은 구조이다.

참고 자료

Wikibooks, "Electronics/Capacitors",
http://en.wikibooks.org/wiki/Electronics/Capacitors#Capacitors
양철웅, 전자재료실험 수업자료, 성균관대학교 신소재공학부, (2013)
허혁, MOS CAPACITOR의 각 주파수에 대한 C-V 특성분석, 동아대학교, 1992
lithography(특집 포토레지스트 재료-화상형성용 유기 감광재, 한국화상학회지, 4, 45 (1998) 사진파일
엄금용, “반도체공학 : 반도체공학과 공정실무 Semiconductor engineering & processing ”, (2012)