재료의 표면에 입사된 이온 빔의 이온들은 재료의 원자 및 분자들과 충돌하여 수 백 A의 크기의 collision cascade를 형성하는데 표면의 일부는 표면 결합에너지 보다 큰 운동 ... Hertz : 광전효과의 발견 1905' 아인슈타인 : Quantum theory로 광전효과를 설명하였다. ... 이러한 점을 개선하기 위해서 electron impact나 laser 등을 이용한 post-ionization으로 sputtering 과정과 ionization 과정을 분리하는 방법이
