CRYOGENIC PUMP 1. 펌프의 구성 가. PUMP MODULE 나. COMPRESOR MODULE 2. 펌프의 동작원리 가. ... 크라이오 펌프의 총괄 CRYOGENIC PUMP ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 『크라이오 펌프는 기체를 아주 차갑게 하여 펌프 내에서 얼거나 붙잡혀 있도록 배기하는 아주 ... 펌프 모듈 (PUMP MODULE) 1) 구성 : 팽창기 모듈, 1,2단계 크라이오 어레이(cryoarra정용 냉장고의 수증기를 배기하는 것과 같은 방법으로 배기한다.
장치 설명 (용도와 종류 설명) Pump : 압력을 이용하여 관을 통해 액체나 슬러리 등을 수송 시킬 수 있고 저압의 용기 안의 유체를 펌프를 통해 관을 통과하여 고압의 용기로 압송을 ... -압력이 1atm이하 일 때의 탄화수소에서 SRK equation, 압력 1atm이상 또는 Cryogenic의 경우에는 PR equation을 일반적으로 사용한다. ... (왕복식 : 피스톤, 다이어그램, 플렌지 ㅣ 회전식 : 기어, 나사, 베인, 스크류) 특수형 펌프 : (제트펌프 / 진공펌프) Heat Exchanger : 전열벽을 통해 온도가 높은
통상적으로 압력이 1bar 이하인 Hydrocarbon에 SRK equation을 적용하고, 압력이 1bar이상이거나 Cryogenic의 경우 PR equation을 적용한다. (3 ... (왕복식 : 피스톤, 플렌지, 다이어그램 등 / 회전식 : 기어, 베인, 나사, 스크류) 특수형 펌프 : (제트펌프 / 진공펌프) Heat Exchanger : 온도가 높은 유체로부터 ... 종류 설명 Pump : 압력 작용에 의하여 액체나 슬러리 등을 관을 통해 수송하거나 저압의 용기 속에 있는 유체를 관을 통하여 고압의 용기 속으로 압송하는 기계이다.
Cryogenic focusing 필요 정thermal desorption 25. ... sector mass spectrometer Neutral molecules Repeller Electron beam Ion acceleration plates To vacuum pump
Diffusion PumpCryogenic Pump Sputter-Ion Pump 10-10 10-8 10-6 10-4 10-2 1 102 저진공 펌프로서 일반적으로 가장 많이 ... Vacuum pump의 종류와 특징 Rotary Pump Roots Pump Diffusion Pump Turbo-molecular Pump Ion PumpCryogenic Pump ... Fig.6 Ion Pump의 구조와 원리 Cryogenic pump는 액체 질소나 압축된 헬륨을 사용하여 표면을 차갑게 만들어 기체 분자들을 냉온응축(cryo-condensation
펌프의 용량을 증대시키기 위해 이온 펌프를 흡착펌프나 게터펌프와 같이 연결하여 사용하기도 합니다. ● Cryogenic Pump ( 1 SIM 10 ^{-9}Torr) 저온 냉각 펌프는 ... Oil Rotary Vane Pump 3. Oil Rotary Piston&Gear Pump 4. Oil Rotary Pump 장단점 및 시장조사 5. 그 외 진공펌프 1. ... 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 합니다. ● Turbo Molecular Pump ( 10 ^{-1} SIM 10 ^{-10}) 이 펌프는 공기 입자성에
Cryogenic pump의 개략도 3) Getter pump - 티타늄(Ti)과 같이 화합물 형성이 쉬운 물질을 필라멘트나 덩어리 형태로 가열하여 진공 펌프 벽에 증착하면, 펌프내로 ... 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프 (cryopump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다. ■ 진공펌프의 종류 1. ... Entrapment 펌프 1) 이온 펌프(Ion pump) 그림8.
등 저온에서도 증기압이 높은 기체들의 운동에너지를 빼앗아 표면에서 움직이지 못하게 하는 것이다 크라이오 펌프에 사용되는 냉동기는 2단으로 되어 ... 그림에서처럼 안쪽 표면에 activated charcoal (활성탄)이 발라져 있음을 보게 되는데, 이는 물 분자와 같이 1단계에서 포획될 수 ... 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다. -
Cryogenic pump의 개략도 cryogenic펌프는 ‘저온(cryo-)’을 이용한 것으로, 차가운 표면에 기체 분자들이 응축 또는 흡착되도록 하여 제거하는 원리를 이용한다. ... (새로운 티타늄 표면은 기체입자와 화합물을 형성하거나 증가된 표면에너지를 줄이기 위해 분자결합을 함으로써 기체입자를 제거하게 된다.) ▶ Cryogenic pump 그림4. ... 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 pump가 이에 속한다
액체질소가 다 증발하게 되면 온도는 다시 서시히 상승하게 되며, 실온으로 돌아온 후에는 안전밸브를 열고 섭션 펌프를 가열하여 흡착된 기체를 방출하게 된다. 6) Cryogenic Pump ... 그림 15 sorption pump 구조5) Sorption Pump(섭션 펌프) 섭션 펌프는 포획 방식의 펌프로써, 배기가스를 기계적으로 압축하거나 외부로 방출하지 않고, 오일을 ... 섭션 펌프는 일회용의 러핑 펌프로서 동작한다.
Cryogenic pump의 개략도 5.3. ... Cryogenic pumpcryogenic펌프는 ‘저온(cryo-)’을 이용한 것으로, 차가운 표면에 기체 분자들이 응축 또는 흡착되도록 하여 제거하는 원리를 이용한다. ... 흡 착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프(cryopump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다. 4.. Positive displacement 펌프 4.1.
저온에서도 증기압이 높은 기체들의 운동에너지를 빼앗아 표면에서 움직이지 못하게 하는 것이다 크라이오 펌프에 사용되는 냉동기는 2단으로 되어 ... 그림에서처럼 안쪽 표면에 activated charcoal (활성탄)이 발라져 있음을 보게 되는데, 이는 물 분자와 같이 1단계에서 포획될 수 ... 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다. -
펌프 종류 로터리 펌프(rotary vane pump) 이온 펌프(Ion pump) 루츠 펌프(Roots pump) Cryogenic pump 오일 확산 펌프(Oil diffusion ... pump) Getter pump 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 여러 가지 진공펌프의 작업 가능 압력 3) 펌프 종류 및 특징 ① 로터리 펌프(rotary ... vane pump) 로터리 펌프의 내부구조 및 작동순서 일반적으로 실험실에서 저진공 용도로 가장 많이 사용되는 로터리 펌프의 구조와 작동 순서를 나타내었다.
류 이온 펌프 Entrapment 펌프 진 공 펌 프 의 종 류 Cryogenic pump Entrapment 펌프 진 공 펌 프 의 활 용 및 현황 (1) 진공포장기 관련 동영상 ... 흡착 펌프 (sorption pump) 나 냉온 펌프 ( cryopump ), 이온 펌프 (ion pump) 가 이에 속한다 . ... Entrapment 펌프 - 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 등 대부분의
초저온Cryogenic)이라함은 일반적으로 영하150℃ 이하의 온도영역을 지칭하는 것으로서 초저온 공학Cryogenic engineering)은 첨단 과학기술의 있는 실정이다. ... 반면에 초저온 액화가스 유량계, 액화가스 원심펌프 등은 아직 연구단계에 있고, 왕복동식 펌프는 국산화가 되어 보급되고 있으나 성능개선을 위한 개발이 필요하다. ... 따라서 기화 과정 중 LNG 1kg 당 200Kcal 의 냉열이 외부로 배출되면, 기화를 위한 해수펌프 동력 및 천연가스 등 에너지가 소비되게 된다.
