주사전자현미경

소개글

고체상태에서 작은 크기의 미세구조와 형성물을 관찰할 때 다양하게 쓰는 현미경으로서,1965년 최초로 상품화된 이후 초점 심도가 굉장히 깊어서 복잡하 표면구조나 결정외형등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할수 있는 분석장비이다.

목차

1.이론적 배경
2.실험방법
3. 비교
5.문헌

본문내용

1.이론적 배경
1.) SEM의 개요 및 원리
고체상태에서 작은 크기의 미세구조와 형성물을 관찰할 때 다양하게 쓰는 현미경으로서,1965년 최초로 상품화된 이후 초점 심도가 굉장히 깊어서 복잡하 표면구조나 결정 외 형등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할수 있는 분석장비이다.
①전자총 : 전자총은 광학현미경에서 광원과 같은 구실을 한다.
▶필드 이미션 건 : W-point tip을 600~2000Å의 곡률반경을 가지도록 뾰족하게 제작한후 강한 field 가하여 전자방출을 유도하는 방식으로서 점원으로부터 균일한 에너지의 전자선이 얻어지므로 대단히 높은 전자선 밝기와 작은 crossover를 형성할수 있어서 고해상률전용의 SEM, TEM에 사용되고 torr의 고진공이 필요하다.
▶Triode W-hairpen filament : 가장 널리 사용하는 type로서 약 torr정도의 진공이 요구된다. 직접가열에 의하여 filment 로부터 electron current 가 발생한다.

②Magnetic Lens
코일이 감아진 원통형의 전자석으로 전자가 자장에 의해 휘는 성질을 이용하여 한곳으로 모으는 역할을 한다.
▶condenser Lens : 전자총을 빠져나온 전자빔을 모아 주는 역할을 하여 조리개 와 함께 조합하여 전자빔의 세기를 결정한다.
▶Objective Lens : 시료에 조사되는 빔의 크기를 결정하는 렌즈로서 작은 전자빔을 만들기 위해서는 초점거리가 짧고 가능한 시료의 표면에 가깝게 위치한다. 시료로부터 렌즈까지의 거리가 짧을수록 더욱 짧을 spot를 형성할수 있으므로 resolution을 형성할수 있다.

③Electron Detector
Electron Detector로는 일반적으로 ET(Everhart & Thornley)detetory를 사용한다.

참고 자료

http://myhome.naver.com/microscope1
http://altair.chonnam.ac.kr