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플라즈마 코팅

*회*
최초 등록일
2008.06.03
최종 저작일
2007.06
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소개글

플라즈마를 이용한 코팅, 특히 DLC에 관한 ppt입니다.

목차

1. 코팅의 의미
2. 코팅의 기능
3. 코팅형성방법
4. DLC 소개
5. 참고문헌

본문내용

#플라즈마 코팅방법#

플라즈마 코팅 방법

1. 순수 플라즈마를 이용하여 금형 표면을 개질 시키는 방법
- 플라즈마 표면 개질, 플라즈마 이온 주입 방법
- 플라즈마 Nitriding, 플라즈마 Boriding 등

2. 플라즈마를 이용하여 직접 금형에 이질의 박막을 증착시키는 방법
- Magnetron Sputtering, Arc sputtering, Laser abliation 등의 PVD법
- PE-CVD, ECR-CVD, ICP-CVD, Thermal CVD, PACVD 등의 CVD법

플라즈마 코팅의 이점

1. 친환경적이다
2. 증착 온도를 낮출 수 있다
3. 화학적 조성의 조절이 자유롭다
4. 기판과의 접착력이 좋다
5. 고밀도의 막을 얻을 수 있다

참고 자료

Kwang-Ryeol Lee and Kwang Yong Eun
:Diamond Like Carbon (1993)
최시영 : 박막공학의 기초 (2001)
이흥로 : 표면공학 (1998)
네이버 지식in
http://www.kist.re.kr
http://pllab.snu.ac.kr
http://psel.snu.ac.kr
http://www.capst.re.kr
http://www.naver.com
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