ZnO박막의특성

*종*

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최초 등록일: 2008.05.16
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1. 투명 전도막.

가시광선 영역의 빛을 투과시켜 사람의 눈에 투명하게 보이는 동시에 전기 전도도가 좋은 물리적 특성을 나타내는 재료.

2. 투명전극 재료 및 특징.

금, 플라티늄 등이 금속의 박막에, 산화 제이주석,
삼산화인듐, 이산화티탄 등이 반도체의 박막에 쓰임.

a. 가시광선영역(400nm ~ 700nm)에서
80%정도의 광투과도를 가진다.
b. ~10^3/옴센티의 높은 전기전도도를
가지는 재료여야 한다.
c. Optical bandwidth가 3.5eV 정도이기
때문에 자외선 영역은 모두 투과 시키고
적외선 영역은 높은 반사율
d. 적절한 에칭 특성을 가지고 있어야 한다.

3. 투명전도 박막종류.

a. ITO (In2O3:SnO2)

b. ZnO
(hexagonal wurtzite 구조)

4. 박막제조방법.

a. 졸-겔법

b. 화학기상증착법

c. 스퍼터링법

d. Pulse laser 증착법(PLD)

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