[박막] RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ZnO박막에 관한 연구

소개글

제 학부 졸업논문입니다.
석사 졸업 논문으로도 손색이 없을 정도로 내용이 깊고 알찹니다.
참고 많이 하세요.

목차

제 1 장 서론
제 2 장 실험 방법
제 3 장 결과 및 고찰
제 4 장 결 론
제 5 장 참고문헌

본문내용

1. 서론

정보통신시대의 도래로 멀티미디어의 중요성이 강조되면서 각종 표시 소자의 개발이 가속화되고 있다. 세계적으로 국가적인 관심사가 되고 있는 정보통신 산업의 급격한 발달과 더불어, 최근 이동통신산업이 각광을 받기 시작하여 시스템 및 부품의 개발이 급진전을 이루고 있다. 특히 이동통신용 고주파 부품 중의 핵심 부품인 표면탄성파(Surface acoustic wave, SAW)필터는 그 중요도가 매우 높게 인식되고 있는 부품이다. 고주파용 표면 탄성과 필터의 경우 압전 단결정기판을 사용한 기술에 관한 연구와 저 삽입손실에 적합한 박막형 압전재료를 이용한 SAW 필터에 대한 연구가 병행되고 있다.
대표적인 박막형 압전 박막은 ZnO박막을 들 수 있다. ZnO는 wurtzite 결정구조를 가지고 에너지 밴드 갭이 3.2 eV인 Ⅱ-Ⅳ족 화합물 반도체로서 가시광 영역에서의 투광성과 높은 굴절율, 큰 압전상수, 강한 전기기계 및 비선형 전기광학 계수를 가져 저주파 영역센서에 있어서 압전 트랜스듀서, 집적화된 광도파로, 산화 또는 환원 가스검출 센서, 발광 다이오드와 태양전지의 투명 전도막 등 그 이용 범위가 매우 다양하다.

참고 자료

1. T. Shiosaki, CMC Technical Rep. No 3, Electronic Ceramics (1981)
2. Frans. C. M. Van De Pol, Ceram. Bull., 69 (12), 959 (1990)
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4. S. Ono, O. Yamazaki, K. Ohji, K. Wasa, and S. Hayakawa, Appol. Phys. Lett., 33, 217 (1978)
5. S. Minagawa, T. Okamoto, T. Nitsuma, K. Tsubonhi, an N. Mikoshiba, IEEE Trans. Sonics Ultrason., Su-32 (5), 670 (1985).