[전자현미경] 주사전자현미경예비)

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열심히 썼씁니다.

목차

(1) 주사 전자 현미경 (SEM : scanning electron microscope)
1. 개요
2. SEM의 원리 및 특징
3. SEM의 구성
1) 전자총
2) 전자빔의 발생
3) 자기렌즈
① 렌즈
② 구면수차. 구면수차, 비점수차
③ 빔 전류
4) 해상도
① 스팟크기
② 상호작용영역
③ 가속전압

(2) 투과 전자 현미경 (TEM : Transmission electron microscope)
1. TEM의 원리
2. TEM의 구조
1) 조명시스템
① 전자총
② 집속렌즈
2) 표본 시스템
3) 표본 이미지 시스템
① 대물렌즈
② 항오염기
③ 비점수차 교정기
④ 투사렌즈
4) 관찰실
3. 영상모드
1) 명시야상
2) 암시야상

(3) STEM

(4) SEM과 TEM의 비교 및 활용

본문내용

1. 개요
SEM은 약 30년 전에 처음으로 사용된 이래 현재는 광학 현미경 및 TEM과 함께 재료공학 분야에서 다양하게 적용되고 있다. SEM은 다른 현미경에 비해 시료준비의 용이성, 높은 해상도 및 고배율의 미세조직 관찰, 그리고 광범위한 초점심도로 입체적인 영상을 얻을 수 있는 특징을 지니고 있다. 따라서 여러 가지 형태의 재료에 대한 표면형상 연구 및 고배율의 재료 fractography를 연구하는데 널리 사용되고 있다.

2. SEM의 원리 및 특징
SEM에서 시료의 확대 상을 얻는 기구는 가늘게 조은 전자선을 시료 이에 주사시키고(scanning), 동시에 상 재생 측에서는 음극선관(CRT) 내의 전자빔을 형광면에 주사 시켜 양자를 동기시킴으로써 상의 형성이 이루어진다. 이와 같은 메커니즘은 TV 혹은 FAX와 비슷하지만 한 화면을 형성하는 시간은 TV보다는 훨씬 늦다. SEM의 배율은 시료 상 주사 폭과 CRT 스크린 폭과의 비로 정해진다. CRT 디스플레이 폭은 일정하므로 배율의 변화는 전자 프로브의 주사 편향각을 전기적으로 변화시킴으로써 이루어진다. 또한 SEM에서는 원리적으로 배율의 변화, 초점맞춤, 화상의 밝기, 콘트라스트를 각각 조절할 수 있다.
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