반도체 공정실험

소개글

반도체공정에 대한 전반적인 내용을 모두 포함하고 있습니다.
전기전자쪽 전공하시는 분이나.. 화학공학전공하시는분에게 도움이 되시리라 생각됩니다.

목차

1. 플라즈마란
2. 반도체의 정의
3. 반도체의 공정 종류 및 간단한 정의
4. 식각의 종류와 원리
5.참고문헌

본문내용

1. 플라즈마란

(1)플라즈마란 무엇인가?
①플라즈마라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 'Langmuir'(랑뮈어)로서, 전 기적인 방전으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 플라즈마라고 하고 그 물리적인 성질을 연구하는 것이 플라즈마 물리학이다.

②플라즈마란 소위 '제 4의 물질상태'라고 알려져 있으며,우주의 99%가 플라즈마 상태로 이루어져 있 다는 사실 또한 이미 잘 알려져있다.
물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 이것이 열(에너지)을 받아서 차츰 액체로 되고 그 다음 에는 기체로 전이를 일으킨다.
기체에 더 큰 에너지를 받으면 상전이 와는 다른 이온화된 입자들, 즉 양과 음의 총 전하 수는 거의 같아서 전체적으로는 전기적인 중성을 띄는 플라즈마 상태로 변환한다.

(2)플라즈마의 상태

플라즈마 상태는 그 밀도와 온도를 그 주 파라미터로 사용하며 이 두가지 요소에 따라 우리주변에서도 쉽게 찾아 볼 수 있는 플라즈마 상태들, 즉, 네온사인이나 형광등으로부터 시작하여 북극의 오로라, 태양의 상태, 핵융합로에서의 플라즈마 상태등 광범위하게 분류되어질 수가 있다.
플라즈마라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 플라즈마 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다.

참고 자료

(1)고체전자공학 번역판 5th edition 『Ben G. Streetman』 사이텍미디어 p 1~27
(2)재료과학과공학 번역판 5th edition 『William D Callister, Jr.』사이텍미디어 p 686~708
(3)반도체(공정 및 측정) 6th edition 『편집부 엮음』 (주) 전자자료사 p 6~15, 105~111
(4)반도체 평탄화 CMP기술 『T. Doi 외 2명 공저』 (주) 북스힐
(5)전기화학(계면과 전극과정의 과학.기술) 『백운기, 박수문』 청문각