표면정량분석기기
- 최초 등록일
- 2018.05.15
- 최종 저작일
- 2018.05
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목차
1. PURPOSE OF REPORT
2. ANALYSIS EQUIPMENT OF LIST
3. REPORT OF EQUIPMENT
4. PORTABLE EQUIPMENT
본문내용
1. Purpose of Report
▪ Background
현재 다음과 같은 목적으로 분석기기를 취급하고 있음.
-. P/C 측정 및 Defect 정밀 측정 분야
-. 세정제 선정 및 오염물 분석, Nano 단위의 산화 코팅막 두께 측정 등
-. 세라믹 코팅재, 코팅층의 물성 측정 및 분석
최근, 반도체 장비 부품의 표면에 대하여 보다 정밀한 정량분석을 요구하고 있으며, 해당 분석 기술을 통하여 기술의 신뢰성을 판단하고 있음.
→ 이에 표면에 대한 정량분석기기를 일괄 정리하여 보다 효율적으로 활용할 수 있는 발판을 마련하고자 함.
참고 자료
DB Pia: http://www.dbpia.co.kr
APRO R&D: http://www.apro.re.kr
Euro Science: http://www.euroscience.co.kr
중소기업청 기술개발 사업 종합관리 시스템: http://www.smtech.go.kr