광전자 실험 예비레포트

목차

1. 목적
2. 실험의 배경이론
3. 실험방법

본문내용

◆ 목적
1. 4-point probe에 대해 알아보자.
2. 면 저항 및 저항률의 개념을 이해하고 장비를 이용해 박막의 두께를 측정, 이를 통해 uniformity를 계산하자.

◆ 실험의 배경이론
(1) 4-Point Probe 란 무엇인가?
- 4-Point Probe는 안쪽 두 점 사이의 전압과 바깥쪽 두 점 사이의 전류를 측정하여 박 막(thin layer) 및 시트(sheet)의 저항치를 측정하는 계측기이다.

<중략>

․ 프로브 포인트의 간격이 일정하면, 전도성 필름의 두께는 간격의 40%이며, 필름 edge는 측정 포인트 간격의 4배이고 평균 저항치, 표면 저항치는 공식 1로 주어진다. 필름 두께 와(in cm) 저항치는 RS에 대해서 다음과 같이 나타낸다

Rs = (resistivity) / (thickness)

그래서 필름의 두께를 알면 저항치를 계산할 수 있고, 저항치를 알면 필름의 두께를 계 산할 수 있다.

․ Ohms per square: 표면저항 측정단위. 이론면적의 마주한 두 전극 사이의 저항치와 같 다.

참고 자료

없음