박막실험
- 최초 등록일
- 2016.07.14
- 최종 저작일
- 2015.04
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목차
1. 이론 및 실험목적
2. 실험원리
3. 실험과정
4. 실험결과
5. 실험 후 고찰
본문내용
1. 이론 및 실험목적
저항가열식 진공증착법(Thermal evaporation)을 이용하여 보다 빠르고, 쉽게 박막을 증착시켜 박막 증착의 대한 이해를 돕는다.
박막 증착이란, 박막 증착에는 기상증착법이 주로 쓰이며, 크게 PVD(Physical Vapor Deposition)과 CVD(Chemical Vapor Deposition)으로 나뉘어진다. 이 둘의 차이는 증착시키려는 물질이 기체상태에서 고체상태로 기판에 쌓일 때, 어떤 과정을 거치는가 이다. PVD는 기체상태가 고체상태로 변할 때 물리적인 변화를 거치고, CVD는 박막증착과정에서 기체에 의해서 원료가 옮겨지나 이 물질이 표면에서 화학적인 변화를 거치게 된다.
PVD(Physical Vapour Deposition)법의 열증착법 즉 저항가열식 진공증착법으로 실험을 할려고 하는데 저항가열식 진공증착법은 진공(Torr)중에서 고체 또는 액체를 가열하여 분자 또는 원자로 분해한 후 기판표면상에 응축시키는 방법으로, 장치구조가 간단하고 막 형성 속도가 빠르다.
참고 자료
없음