포토리소공정

목차

1. 정의
2. 실험 목적
3. 실험 이론
4. 실험 진행 과정
5. 실험 결과

본문내용

1. 정의 : 포토리소그래피 공정은 어떤 특정한 화학 약품이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용한 것이다, 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 패턴 마스크와 동일한 패턴을 형성시키는 공정이다.

2. 실험 목적
1) OLED공정의 포토리소그래피 공정의 순서를 안다.
2) 포토리소그래피의 각 공정 마다 하는 목적과 특징을 이해한다.

3. 실험 이론
포토리소그래피 공정 순서
세정 - PR도포, 코팅 - 소프트베이크 - 노광 - 현상 -하드베이크- 식각 - 박리 이다.

각 공정에서 하는 일을 자세히 알아보자.
▶ 세정
: GLASS 기판의 파티클이나 여러 오염물질이 있을 수 있기에 여러 가지 용액으로 세정을 해준다. (용액: 아세톤, DI WATER, IPA)
▶ PR 도포, 코팅
: PR(Photo resist)를 ITO에 균일하게 코팅하기 위해 스핀코터 장비에 GLASS기판을 올려 놓은 후 진공을 잡아 GLASS를 고정한 뒤 가운데에 PR을 3회~4회정도 도포한다. 그 후 스핀코터 장비로 회전코팅을 해준다.
▶ 소프트 베이크 (Soft Bake)
: PR을 코팅한 GLASS의 SOLVENT라는 용액을 날려 주기 위해 고온에서 베이킹 해준다.
▶ 노광 (Exposure)
: 원하는 포토 마스크 패턴을 올려놓고 UV를 조사한다.
▶ 현상 (Develope)
: 감광된 PR이 패턴을 만들어 내는 과정이다.
PR의 종류에 따라 결합을 끊거나 결합하는 과정이다.
( 감광제에 빛을 쬐면 감광제가 빛과 반응하여 화학구조가 바뀌어 현상액에 반응하는 속도가 달라진다. 빛을 쬔 부분이 현상액에 녹아 나가면 positive, 빛 을 받지 않은 부분이 녹아나가게 되면 negative라고 정의한다.)
▶ 하드 베이크 (Hard Bake)
: 잔류 PR 결합력 강화하는 공정

참고 자료

없음