반도체 디스플레이 공학 - MOCVD 공정 표현

목차

1.1 전체적인 MOCVD 공정 표현
1.1.1 MOCVD의 Growth step
1.1.2 MOCVD의 화학적 공정
1.1.3 MOCVD의 물리적 공정 순서
1.2 MOCVD 공정의 작동 원리
1.3 MOCVD 공정에 대한 재료 및 장비 설명
1.3.1 MOCVD 공정 재료
⑴ ZnO
⑵ MO Compounds
1.3.2 MOCVD 공정 장비
⑴ Horizontal reactor
⑵ Vertical reactor
⑶ Planetary reactor

2. 결론
2.1 실리콘 박막태양전지용 MOCVD
2.2 MOCVD 증착 과정 및 공정 요약

본문내용

2.1.1 MOCVD의 Growth step
a. reactant(precursors)가 gas형태로 혼합되어 reactor tube로 흐름
b. reactor 내에서 mass, energy, momentum transport가 우세한 gas layer 형성
(based on entry effects and steady-state condition)
c. 두 가지의 화학반응(homogeneous, heterogeneous)이 일어나 반응물의 농도 감소
→ alloy composition의 변화, growth rate의 감소, epitaxial surface의 거칠어짐
→ 두 가지 화학반응에 의해 reactor 벽면에 parasitic deposition 발생
d. 부분적으로 분해된 precursor들이 표면으로 확산되어 표면반응이 일어나 원하는 물질을 형성
e. hydrocarbon형태의 반응 생성물들이 탈착, lattice site로 표면확산이 일어남

< 중 략 >

3.1 실리콘 박막태양전지용 MOCVD
MOCVD는 Metal Organic Chemical vapor deposition의 약자로 금속 유기물 증착법이다. precursor로 금속 유기 화합물(즉, MO Source)을 이용한다. Chamber 안에서 가열 된 기판 표면에 증기압이 높은 금속 유기 화합물 증기를 보내어 원하는 박막을 성장시킨다. MOCVD는 Step coverage가 우수하고, 기판이나 결정 표면에 손상이 없다는 장점을 가지고 있고, 비교적 증착속도가 빨라서 공정 시간을 단축시킬 수 있다. 따라서 고순도, 고품질의 박막을 성장 할 수 있고 생산성도 우수하다. MOCVD는 현재 널리 활용되기 시작한 대형전광판 및 색채영상, 그래픽, 표시소자, 교통신호등 등에 이용되는 발광 소자를 생산하는 데 필수적이고, 특히 강유전 물질을 이용한 메모리 소자의 제작에도 사용된다.

참고 자료

R. L. Moon and Y.-M. Houng, in Chemical vapor deposition - Principles and applications, edited by M. L. Hitchman and K. F. Jensen (Academic Press, London, 1993)
R. L. Moon and Y.-M. Houng, in Chemical vapor deposition - Principles and applications, edited by M. L. Hitchman and K. F. Jensen (Academic Press, London, 1993).
G. B. Stringfellow, Organometallic vapor phase epitaxy: theoryand practice(Academic Press, Boston, 1989).
Mechanism of the Metal Organic Chemical Vapor Deposition of Gallium ArsenideL , Andrew R. Barron (http://cnx.org/content/m25614/1.6/)
한국진공학회지 제19권 3호, 연세대학교 전기전자공학과, 김도영 외 2명 2010년 5월, pp.177~183
MOCVD를 이용한 Ga/AsSi 태양전지의 제작과 특성에 대한 연구, 신일철, 임종철, 차인수 ,1997, 동 신대학교 전자전기 공학과
www.helmholtz-berlin.de/forschung/enma/materialforschung-pv/se4/arbeitsgebiete/ solarzellenstrukturen/mocvd_en.html
http://sciencewise.anu.edu.au/articles/Nanotechnology:http://www.electroiq.com/index/display/semiconductors-article-display/1015272792/articles/solid-statetechnology/semiconductors/materials/2011/2/high-k-semiconductor-materials-from-a-chemical-manufacturer-pers.html
http://www.firstnano.com/applications/zincoxide/7/