평가점수C

[반도체] 에피택셜성장

등록일 2002.09.13 파워포인트파일MS 파워포인트 (ppt) | 15페이지 | 가격 1,000원
다운로드
장바구니관심자료
상세신규 배너

목차

1. 개요
2 격자정합
3. LPE 액상에피택시
4. GaAs 기판에 AlGaAs 및 GaAs 성장
5. VPE 기상에피택시
6. 성장 리액터 개요도
7. si 결정 성장 개요도
8. MBE
9. MBE 결정성장

본문내용

에피택셜 성장 (epitaxial growth)
기판 웨이퍼 위에 방향성을 가진 단결정막을 기르는 기술
고순도의 결정층을 형성하는 공정
웨이퍼보다 낮은 온도에서 성장

- CVD : 화학 기상 증착
- LPE : 용융액으로부터의 성장
- MBE : 진공에서의 원자의 증착

L P E 액상에피택시
Liquid Phase Epitaxy의 약자로 액상에피택시라고 합니다.

결정재료가 녹아 있는 포화용액을  기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것
 
1963년 Nelson에  의해 최초로  구현된 후,  주로 Si,  GaAs, AlGaAs, GaP 에피택시에 널리 이용되고 있습니다.
  • 구매평가(2)
  • 구매문의(0)
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.

      찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

      • 한글파일 반도체 소자 및 반도체 집적 회로 45페이지
        .3 부융대 성장 에피 공정 방법은 일반적으로 액상 에피택시 ... 층을 형성하는 공정을 에피 성장(epitaxial growth) 또는 ... 한다. 일반적으로 에피에 의하여 성장에피층은 단결정 웨이퍼
      • 한글파일 레치업 4페이지
        가지가 있다. 첫째, 기상 에피택시. 웨이퍼 제조공정에서 에피 성장 ... , Drain Source만 동작해야 하지만 모든 반도체 소자에는 기생 커 ... 새피터와 저항이 존재한다. 반도체 소자의 PN접합은 기생 커패시턴스와
      • 한글파일 LED의 종류, 장단점 및 응용분야 10페이지
        ) 에피 성장 …………………………………………………………………… p.8 ... 결정 기판기술 (1) 에피 성장 에피 성장이란 기판에 올라가는 원자층을 ... 제작할 수 있기 때문에 [그림 3]과 같이 형광등 조명을 넘어 반도체
      • 파워포인트파일 MOCVD PPT 자료 23페이지
        MOCVD 201418428 윤 혜 정 반도체과학기술학과 목 차 1 ... 이용한 화합물 에피 성장 메커니즘 3 CVD 공정 CVD 란 ? 화합 ... 물을 기체상태로 분해 한 후 , 화학적 반응 에 의해 반도체 기판 위에
      • 워드파일 GaN의 특성과 성장 방법 5페이지
        드라이브 등이다. GaN 전력 반도체의 경우, 시장 성장은 주로 300 ... , **서영훈, 남기석. 전북대학교 화학공학부, *반도체과학기술학과, **(주 ... 힘든 실정이다. Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 근간이 되는 GaN 박막을
      • 워드파일 VLSI공정 5장 문제정리 10페이지
        , 화학적 반응에 의해 반도체 기판 위에 박막이나 에피층을 형성하는 것이다 ... 성장하는 것. 실리콘 공정에서 사용되는 에피택시의 가장 흔한 형태. 에피 ... 및 고품질이 요구되는 반도체 공정 고출력 LED칩 소자 개발에 필수적인
      • 한글파일 graphene의 모든것 15페이지
        전기적 성질을 가진다. -그래핀은 반도체가 가지는 특징인 띠구조(band ... , 이는 다시 말해 기존의 실리콘 대신 그래핀으로 반도체를 만들 수 있다는 ... 1. 차세대 반도체 현재 생산되는 반도체 소자는 수십억 개의 실리콘
      더보기
      상세하단 배너
      우수 콘텐츠 서비스 품질인증 획득
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      추천도서yes24
      다음
      [반도체] 에피택셜성장
      페이지
      만족도 조사

      페이지 사용에 불편하신 점이 있으십니까?

      의견 보내기