[전자현미경] sem의 원리와 측정

목차

sem의 구조
전자선 발생원리
se와 bse의 차이점과 특징
가속전압과 이미지의 관계
eds와 wds의 비교

본문내용

1. 전자총(Electron Gun) : 전자총의 역할은 광원으로 쓰이는 전자를 만들고 가속시키는 역할을 한다. 전자총은 전자선(electron ray)의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급하게 된다
2. 자기렌즈 : 자기렌즈는 코일이 감아진 원통형의 전자석으로 전자가 자장에 의해 휘는 성질을 이용하여 전자를 한곳으로 모으는 역할을 한다. 수렴렌즈는 전자총을 빠져나온 전자빔을 모아주는 역할을 하며 시료에 조사되는 빔의 크기를 결정하는 대물렌즈는 전자빔 형성렌즈로도 불린다.
3. 축 조정 코일 : 전자총의 음극 바로 밑에서 전극 코일을 통해 X-Y축 방향으로 적당량을 편향하여 집속렌즈의 축에 일치하게 하는 기능을 맡는 곳이다.
4. 주사 코일 : 집속렌즈와 대물렌즈 사이에 위치하여 전자선을 대물렌즈 중심의 한 점에 편향시키는 역할을 한다. 이 점에서 대물렌즈에 의해 다시 확대되며 이를 전자선이 시간에 따라 왕복하게 하는 작용을 하게 된다. .
5. 비점보정 코일 : 오염물 등에 의해 생기는 산란전자 등은 초점이 맞지 않게 되어 해상도를 떨어뜨리게 되는데, 이를 적당한 전류를 통해 보완하는 곳이다.
6. 시편과 시편 홀더 : 시편 홀더는 X, Y와 Z축 방향의 이동과 회전 및 기울임이 가능한 고니오미터이다. 넓은 시편을 이동하면서 관찰하거나, 파면 등을 유리한 방향과 위치에서 관찰할 수 있다.

참고 자료

없음