LCD공정

소개글

LCD 공정 자료입니다.A맞았구요
이걸로 디스플레이에 입사도 했습니다.ㅋ

목차

LCD 공정
LCD 공정 (TFT Array Process)
LCD 공정 (Cell Process)
LCD 공정 (Module Process)

본문내용

LCD 공정 (TFT Array Process)
1. Cleaning
- particle를 제거하는 것 중요
- Clean room 중요
2. Thin Film deposition
- Glass에 얇은 막을 증착시킴.
- PECVD, sputtering
3. Photo Resist coating
- Positive
- negative
4. exposure(한 부분만)
– expose the substrate
under UV light
– shading the light selectively using
the light mask
– The pattern on the light mask is
transferred onto the glass substrate
5. Development
- UV에 노출된
PR coating 제거
6. Baking
– 열처리 과정을 거침
7. Etching
- PR에 보호되지 않는
증착 필름을 제거한다.
- Dry
(플라즈마, 반도체, 절연체)
- Wet(금속막 제거)
8. Stripping
- 증착 필름에 PR 코팅된 부분을 제거
– by spraying organic solvent onto glass substrate

참고 자료

없음