터보 분자 펌프

*승*

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최초 등록일: 2010.08.17
최종 저작일: 2008.01; 16페이지/ MS 파워포인트; 가격 1,500원

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소개글

펌프중에서도 터보 분자 펌프에 대해서 정리하였습니다.
펌프에 관해 공부하시는 분 많은 도움 되시기 바랍니다.

본문내용

기체 수송식 펌프에 속하는
기계적 펌프

고진공 chamber에서 분자 흐름(molecular flow) 상태의 가스가 펌프로 들어오면,
압축하여 펌프의 배기구
쪽으로 내보내는 원리를 가짐

Blade를 충분히 고속으로 움직여서 분자들의 흡착을 막게 되면,
기체 흐름을 원하는 방향으로 바꿀 수 있음

→ 이와 같은 과정을 반복적으로 거치면서
분자의 흐름이 유지되고 배기가 이루어짐

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없음

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