ZnO and Method of Deposition

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ZnO and Method of Deposition

ZnO
Compare with GaN
ZnO 구조
ZnO의 물리화학적 성질
특성
PL 특성
ZnO 내부 결함 에너지 준위
문제점
적용분야
미래의 응용 예
ALD
ALD History
Reaction
Reaction
ALD Cycle
Step Coverage
100% Step Coverage Requirements
Comparison with CVD
Advantages and disadvantages
PEALD (Plasma Enhanced ALD)
ALD and PEALD comparison
ALD and RTA System
ALD soft program
Hydrothermal Growth for ZnO

본문내용

ZnO 란?
Ⅱ-Ⅵ Compound Semiconductor
3.34eV Direct Energy Band gab
→ 광학적 특성이 우수. UV/Blue LED 및 LD와 같은 단파장 영역의 소재로
연구되어 지고 있음. GaN와 광학적으로나 구조적으로 비슷한 특성을 가지고
있으나, 보다 안정적이고 경제적.
60meV Exiton binding Energy
→ 높은 고광효율, 고속의 광소자 성능 기대.

참고 자료

없음

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